IBM setzt molekulare Selbstorganisation zur Chipherstellung ein

IBM ist nach eigenen Angaben mit Hilfe der Nanotechnologie ein bedeutender Schritt zur Miniaturisierung von Chips gelungen. Wissenschaftler der IBM-Forschungsabteilung wollen auf der Fachtagung IEDM 2003 erklären, wie sich das Prinzip der molekularen Selbstorganisation zur Chipherstellung nutzen lässt. Das Verfahren könnte die aufwendigen lithographischen Prozesse ablösen, mit denen bislang die Schaltkreisstrukturen auf Silizium aufgebracht werden.

Die IBM-Forscher erzeugten einen Polymerfilm mit regelmäßig angeordneten sechseckigen Öffnungen von etwa 20 Nanometer Durchmesser. Diesen Film verwendeten sie als eine Art Maske, um einen Flash-Speicher aus Silizium-Nanokristallen herzustellen.

Motorola arbeitet seit einigen Jahren recht erfolgreich an der Erforschung solcher Speicher, bei denen die Nano-Kristalle als Speicher für einzelne Elektronen agieren. Da das Verfahren mit herkömmlich genutzten Herstellungswerkzeugen realisiert werden kann, würden keine hohen Kosten für die Produktionsumstellung entstehen, hieß es. IBM rechnet damit, dass die Technologie in drei bis fünf Jahren in den Produktionsprozess integriert werden könnte. (wst)