Stromversorgung für eine Chipfabrik

Nachdem ja auch (nicht nur) in Telepolis zu lesen war, wie unsicher
die Stromversorgung in China ist, stellt sich für mich doch die
Frage, wie eine Chip-Produktionsanlage auf Stromausfälle reagiert.
Kann man die ohne große Verluste wieder anfahren, oder ist ein großer
Teil der in Bearbeitung befindlichen Wafer hinüber? Gerade wenn ein
Ätz-Prozess unterbrochen wird (bzw. das Reinigen), sollte der Wafer
wohl kaputt sein.
Derartige und ähnliche Probleme werden bei dem "Run auf China" leider
gerne vergessen vom globalisierungsgeilen Management.