Brand bei ASML in Berlin: Produktion nur teilweise beeinträchtigt
Chipindustrieausrüster ASML hat die Produktion im vom Brand betroffenen Berliner Werk wieder aufgenommen. Auswirkungen auf EUV-Systeme werden noch untersucht.
(Bild: ASML)
Nach dem Brand im Berliner Werk des Technologieunternehmens ASML Anfang dieses Jahres halten sich die Auswirkungen nach Firmenangaben in Grenzen. Die Herstellung von Belichtungsmaschinen mit klassischer Immersionslithografie (DUV) sind demnach kaum betroffen. Belichtungsmaschinen mit extrem-ultravioletten Wellenlängen (EUV) wurden dagegen stärker beeinträchtigt. Die Auswirkungen auf Produktionsmengen und Lieferungen an Kunden werden noch untersucht.
Der Anbieter von Komponenten für die Mikrochip-Herstellung erklärte, dass ein Feuer in einem der Gebäude des Berliner Werkes entstand und der Rauch ein benachbartes Gehäuse beeinträchtigt hat. Die Produktion wurde in beiden Gebäuden teilweise wieder aufgenommen. Andere Werksgebäude sind nicht betroffen und voll betriebsfähig.
Die Herstellung von DUV-Systemen (193 Nanometer Wellenlänge) ist wieder komplett hochgefahren worden. Laut ASML hat der Brand die Fertigung von Komponenten für DUV (Deep-Ultra-Violet) unterbrochen, aber die Firma erwartet keine Auswirkungen auf Produktions- und Umsatzpläne in diesem Bereich.
EUV-Systeme stärker betroffen, Auswirkungen weiter unklar
Anders sieht es dagegen bei den EUV-Systemen (13,5 Nanometer) aus. Das Feuer hat Wafer-Module dieser Systeme betroffen. ASML ist noch dabei, die Produktion in diesem Bereich wiederherzustellen. Das Unternehmen versucht, Auswirkungen auf EUV-Kunden zu minimieren, aber dieser Untersuchungen sind noch nicht abgeschlossen.
ASML wird nächste Woche seine Ergebnisse des letzten Quartals und des Vorjahres vorlegen. Dann will die Firma auch weitere Details zu dem Feuer im Berliner Werk und den erwarteten Auswirkungen nennen. Nach dem Brand bei ASML waren die Folgen für die Halbleiterindustrie noch unklar. Es gab Befürchtungen, dass sich Lieferengpässe bei Halbleitern verschärfen könnten.
Nach Angaben der Feuerwehr sei eine automatische Reinigungsanlage auf etwa 200 Quadratmetern in Brand geraten. Der Standort umfasst nach Unternehmensangaben insgesamt 32.000 Quadratmeter, auf denen 1210 Menschen arbeiten. Berlinern dürfte das Werk eher unter dem Namen Berliner Glas bekannt sein. Das niederländische Unternehmen ASML hatte Berliner Glas 2020 übernommen.
(fds)