Chipfertigung: USA, Niederlande und Japan gegen China
Die wichtigsten Ausrüstungszulieferer der Halbleiterwelt sollen vor einer Ausweitung der Exporteinschränkungen gegen China stehen. Die WTO wird involviert.
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Internationale Schwergewichte der Halbleiterindustrie könnten bald die US-amerikanischen Exporteinschränkungen gegen chinesische Chipfertiger wie SMIC übernehmen – zumindest teilweise. Es geht um die Niederlande sowie Japan, wo die beiden Branchenriesen ASML und Tokyo Electron (TEL) beheimatet sind. China hat derweil eine Klage bei der Welthandelsorganisation (WTO) eingelegt und damit einen Streitbeilegungsmechanismus ausgelöst.
Schon seit Jahren – in den vergangenen Monaten verstärkt – versuchen die USA, die beiden wichtigen Zulieferer-Länder Niederlande und Japan zu weiteren Exporteinschränkungen zu bewegen. Laut der Nachrichtenagentur Bloomberg sollen sich die drei Nationen inzwischen auf neue Regelungen geeinigt haben. Eine offizielle Ankündigung sei Anfang 2023 realistisch, heißt es demnach aus Regierungskreisen.
Konkret soll es um Fertigungsausrüstung gehen, mit der sich Halbleiterbauelemente mit Strukturen von 14 Nanometern oder feiner herstellen lassen. Mit den Einschränkungen will man die Möglichkeiten des chinesischen Militärs einschränken, an moderne Halbleiter zu gelangen, etwa für Supercomputer zur Atomwaffenforschung.
ASML und TEL betroffen
Die neuen Bestimmungen beträfen insbesondere ASMLs Verkauf von Lithografie-Systemen zur Belichtung von Silizium-Wafern. Bisher darf die Firma keine Systeme nach China liefern, die extrem-ultraviolette (EUV-)Belichtungstechnik verwenden und zwingend für Fertigungsprozesse ab der 5-nm-Generation benötigt werden.
Eine Ausweitung der Exporteinschränkungen würden den Verkauf sogenannter Immersionsbelichter erschweren, die mit einer Wellenlänge von 193 nm arbeiten (EUV: 13,5 nm). Der chinesische Chipauftragsfertiger SMIC stellt bislang 14-, 12- und 7-nm-Chips mit Immersionsbelichtern her, teils mithilfe von Mehrfachbelichtungen, um die gewünschten Transistorstrukturen zu erzielen. Ohne neue Lithografie-Systeme kann SMIC die eigene Fertigungskapazität praktisch nicht mehr ausbauen und neue Prozesse entwickeln.
In Japan soll primär der Zulieferer Tokyo Electron (TEL) bei den Sanktionen gegen China involviert werden. TEL stellt allerlei Systeme für Halbleiterwerke abseits der reinen Belichtungsprozesse her, etwa Ätzmaschinen und Testsysteme. Ansonsten ist Japan ein wichtiger Lieferant von Chemikalien für die Chipfertigung, darunter Fotolacke. Nikon und Canon sind kleinere Hersteller von Lithografie-Systemen.
China klagt bei WTO
Das chinesische Handelsministerium (MOFCOM) sieht sich derweil ungerechtfertigt als Opfer der US-amerikanischen Außenpolitik. In einer offiziellen Stellungnahme heißt es:
"Die US-Seite hat in den letzten Jahren das Konzept der nationalen Sicherheit verallgemeinert, Exportkontrollmaßnahmen missbraucht, den normalen internationalen Handel mit Produkten wie Chips behindert, die Stabilität der Lieferkette der globalen Industriekette bedroht, die internationale Wirtschafts- und Handelsordnung untergraben, gegen internationale Wirtschafts- und Handelsregeln verstoßen, grundlegende Wirtschaftsgesetze verletzt und die Interessen der globalen friedlichen Entwicklung geschädigt, was eine typische handelsprotektionistische Praxis ist."
"Die Klage Chinas bei der WTO ist ein notwendiger Weg, um Chinas Bedenken mit rechtlichen Mitteln auszuräumen und seine legitimen Rechte und Interessen zu verteidigen. Wir hoffen, dass die US-Seite ihre Nullsummenspiel-Mentalität aufgibt, ihren falschen Ansatz rechtzeitig korrigiert, den Handel mit Chips und anderen Hightech-Produkten nicht mehr stört, den normalen Wirtschafts- und Handelsaustausch zwischen China und den USA aufrechterhält und die Stabilität der globalen Lieferkette von Chips und anderen wichtigen Industrien sichert."
(mma)