Erste 0,13-Mikrometer-Chips noch in diesem Jahr

Der taiwanische Chiphersteller TSMC fertigt bereits erste Prototypen mit 0,13-µm-Strukturen. TSMC entwickelt diese Chips nicht selbst, sondern ist eine reine Foundry, also ein auf die Halbleiter-Herstellung spezialisiertes Unternehmen. Bei den Prototypen handelt es sich um die ersten Muster für Kundenaufträge über Prozessoren, SRAM-Speicher und Chips für die Mobilkommunikation. Man erwartet, dass nach den "Tape-Outs" im laufenden Monat die Massenproduktion der neuen ICs noch in diesem Jahr anlaufen wird.

Zurzeit fertigen die großen Chipschmieden einige Großserienprodukte in 0,18-µm-Technik. Dazu gehören vor allem x86-Prozessoren wie AMDs Athlon oder der Pentium III von Intel. Als nächste Schritte der Miniaturisierung arbeiten weltweit alle Halbleiterfirmen an Prozessen für 0,15- und 0,13-µm-Strukturen. Für das kommende Jahr plant Intel Prozessoren in 0,13-µm-Technik.

Durch feinere Strukturen lassen sich mehr Transistoren pro Flächeneinheit unterbringen. Nach Angaben von TSMC benötigt eine SRAM-Speicherzelle aus sechs Transistoren im 0,13-µm-Prozess 52 Prozent weniger Fläche als bei der Herstellung im 0,18-µm-Prozess. Die Transistoren auf solchen 0,13-µm-Chips weisen eine effektive Gate-Länge von 80 Nanometern auf und arbeiten mit etwa 1 Volt Versorgungsspannung. Dadurch benötigen sie auch weniger Leistung als gröber strukturierte Transistoren. Kleinere Abmessungen sorgen aber auch für kürzere Signallaufzeiten. Beide Effekte tragen dazu bei, dass höhere Taktfrequenzen möglich werden. (ciw)