Gemeinsam forschen, getrennt produzieren
Infineon, Intel, Philips, Samsung und STMicroelectronics kooperieren in der Sub-45nm-Forschung.
Fünf der weltweit größten Halbleiterhersteller -- Infineon, Intel , Philips, Samsung Electronics und STMicroelectronics -- kooperieren jetzt bei der Entwicklung von Prozesstechnologien für mikroelektronische Schaltkreise und Systeme mit charakteristischen Strukturbreiten von unter 45 Nanometern mit Europas führendem Institut für Mikro- und Nanoelektronik, dem Interuniversity Micro-Electronics Center (IMEC) in Belgien.
Das in Löwen ansässige IMEC hat in enger Zusammenarbeit mit IC-Herstellern und Equipment-Anbietern eine zentrale Forschungsplattform entwickelt, auf der Unternehmen in der Forschungsphase Projekte gemeinsam angehen können, um so die Risiken und Kosten zu reduzieren. Die Nutzung einer Prozesslinie nach dem neuesten Stand der Technik am IMEC ermöglicht es ihnen, die erzielten Ergebnisse schneller als bisher in die Entwicklung eigener Produkte zu überführen.
Das gemeinschaftliche Forschungsprogramm zielt auf die Problembereiche bei der Realisierung von Technologien, die gegenüber den heute produzierten Chips um zwei bis drei Strukturgenerationen voraus sind. Dazu gehören unter anderem die Weiterentwicklung der Lithografieverfahren und der Reinigungs- und Kontaminationskontrolle, die Verbesserung des Gate Stack mit so genannten High-k-Dielektrika sowie die Fertigung von Multi-Gate-Feldeffekttransistoren und Germanium-basierten CMOS-Bausteinen. Am IMEC werden dazu vom kommenden Frühjahr an die Bearbeitungswerkzeuge stufenweise von 200-Millimeter- auf 300mm-Wafergröße umgerüstet.
Die Zusammenarbeit der fünf Industriepartner unterstreicht nach Ansicht von IMEC-Präsident Gilbert Declerck klar die Notwendigkeit zu gemeinsamen Forschungsanstrengungen, um "die Herausforderungen bei der Entwicklung von Technologien mit Strukturen im Nanometerbereich zu meistern". Er betont, dass die Kooperation auch weiteren Unternehmen offen stehe. (Richard Sietmann) / (wst)
