Intel stellt 1-GHz-Prozesstechnik vor

Dank einer Verbesserung des bestehenden 0,18-µm-Prozesses sollen schon bald Coppermine-Prozessoren mit 1 GHz auf den Markt kommen.

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Von
  • Andreas Stiller

In einer mit Spannung erwarteten Ankündigung kurz vor Eröffnung der Internationalen Solid State Circuits Conference in San Francisco hob Intel den Vorhang für eine Prozesstechnologie, die die nächste Prozessorgeneration Willamette, aber auch den aktuellen Coppermine-Prozessor auf 1-GHz-Niveau und darüber heben soll. Allerdings gab der Prozessorhersteller noch keine Details zum Willamette bekannt -- als wären nicht die architektonischen Feinheiten des Coppermine schon auf dem letzten Microprocessor Forum präsentiert worden, erläuterte Intel-Sprecher Peter Green noch einmal die Details dieses Prozessors.

Das Besondere der vorgestellten Technik liegt darin, dass er den bestehenden 0,18-µm-Aluminium-Prozess weiter ausreizt und so den aufwändigen Einsatz von Kupfer weiter verschiebt (geplant mit 0,13 µm für 2001). Dadurch können sich sich die vorhandenen Fabs besser amortisieren.

Mit Hilfe des auf dem IEDM vorgestellten Notch-Poly-Profile-Verfahrens läßt sich die effektive Gate-Länge der Transistoren um 30 Prozent senken. Damit lassen sich, zusammen mit geschickt gewählten und gerouteten Metall-Layern und besseren Isolatoren, "mit hoher Yieldrate" 1-GHz-Prozessoren herstellen, die vielleicht schon im Sommer auf den Markt kommen.

Angesichts des guten Erfolgs dieser Herstellungstechnik erwägt Intel wohl auch, den ursprünglich für Oktober geplanten Einführungstermin des mit der gleichen Technik gefertigten Willamette etwas nach vorne zu verlagern. (as)