ASML darf DUV-Lithografie-Systeme nicht mehr uneingeschränkt verkaufen
Die Niederlande führen nach US-Vorbild eine Kontrollliste für den Export von Lithografie-Systemen ein. Das betrifft ASML und somit auch deutsche Zulieferer.
Ein offener ASML-Belichter im Aufbau.
(Bild: ASML)
Chinesische Chipfertiger bekommen größere Schwierigkeiten, Lithografie-Systeme für die Herstellung von Halbleitern zu beziehen. Nach monatelangen Gesprächen schließen sich die Niederlande den US-amerikanischen Exportkontrollen an, was insbesondere den Weltmarktführer ASML betrifft: Die Firma benötigt künftig Ausnahmelizenzen, um Lithografie-Systeme selbst mit älterer Belichtungstechnik nach China verkaufen zu dürfen.
Die neuen Exporteinschränkungen hat Liesje Schreinemacher in einem offiziellen Brief an das niederländische Parlament angekündigt; sie ist die Ministerin für Außenhandel und Entwicklungszusammenarbeit der Niederlande. Noch vor dem Sommerbeginn will ihr Ministerium die Änderungen einführen.
Auf EUV- folgt DUV-Verbot
Bisher durfte ASML keine Lithografie-Systeme an chinesische Chipfertiger wie SMIC liefern, die extrem-ultraviolette (EUV-)Belichtung verwenden. Die neuen Exporteinschränkungen schließen künftig Maschinen ein, die mit tief-ultraviolettem Licht (Deep Ultraviolet, DUV) mit einer Wellenlänge von 193 statt 13,5 Nanometern arbeiten.
Entsprechende Lithografie-Systeme werden bei alten und neuen Fertigungsprozessen benötigt – einschließlich der aktuellen 3-nm-Generation, bei der weiterhin nur ein Teil der Layer mit EUV belichtet werden. SMICs modernster Fertigungsprozess mit 7-nm-Strukturen verwendet ausschließlich DUV-Maschinen. Ohne neue Lithografie-Systeme kann die Firma die Produktionskapazität nicht steigern.
Unter anderem die deutschen Firmen Trumpf und Zeiss liefern etwa Laser und Optiken an ASML für die Herstellung. Die kurz- bis mittelfristigen wirtschaftlichen Auswirkungen dürften sich allerdings in Grenzen halten – immerhin ist ASML auf Jahre ausgebucht, kann also gar nicht so viele Maschinen liefern, wie TSMC, Samsung, SK Hynix, Intel & Co. bestellen.
(Inter-)Nationale Interessen
Schreinemacher nennt stellvertretend für das Handelsministerium drei Ziele, die es mit den Exporteinschränkungen erzielen will:
- Verhinderung des Beitrags niederländischer Waren zu unerwünschten Endverwendung, z. B. militärischer Einsatz oder in Massenvernichtungswaffen;
- Vermeidung unerwünschter langfristiger strategischer Abhängigkeiten; und
- Beibehaltung der niederländischen Technologieführerschaft.
ASML und China werden derzeit nicht explizit genannt, die Absichten sind aber offensichtlich, da es keine anderen niederländischen Hersteller von Lithografie-Systemen gibt. Im Brief heißt es: "Die zusätzlichen nationalen Ausfuhrkontrollmaßnahmen betreffen ganz bestimmte Technologien im Halbleiterproduktionszyklus, bei denen die Niederlande eine einzigartige und führende Position einnehmen, wie z. B. die hochmoderne Deep Ultra Violet (DUV) Immersionslithografie."
Die USA drängen seit 2022 auf Halbleiter-Exporteinschränkungen seitens der Niederlande und Japans. Die Nachrichtenagentur Reuters berichtet anhand interner Quellen, dass Japan bald nachziehen will.
Die Niederlande fahren bei den eigenen Einschränkungen derweil zweigleisig. Sie regen zum einen multilaterale Absprachen innerhalb des Wassenaar-Abkommens an, erwarten dort mit Russland als Mitglied allerdings keinen Konsens. Zum anderen wird im Einklang mit dem EU-Recht eine nationale Kontrollliste durch eine öffentliche Ministerialverordnung erstellt.
(mma)