Studenten revolutionieren Chip-Fertigung
Ein Studententeam der University of Texas , Austin, hat einen Weg gefunden, mit herkömmlicher optischer Lithografie erheblich kleinere Chipstrukturen als bisher möglich -- bis hinunter zu 0,08 µm -- herzustellen.
Ein Studententeam der University of Texas, Austin, hat einen Weg gefunden, mit herkömmlicher optischer Lithografie erheblich kleinere Chipstrukturen als bisher möglich -- bis hinunter zu 0,08 µm -- herzustellen. Damit lassen sich Prozessoren mit Taktraten weit über 1 GHz hinaus und Speicher von etlichen Gigabit Kapazität preiswert mit existierenden Anlagen herstellen.
Bislang war die Chipindustrie davon ausgegangen, daß multimilliardenschwere Investitionen nötig wären, um Elektronstrahl- oder Röntgen-Lithografie für die Massenfabrikation zu entwickeln, mit der ähnlich kleine Strukturbreiten erzielbar sind.
Das Team unter der Anleitung des Chemikers Dr. Grant Willson entwickelte einen speziellen Photolack (ein amorphes Polyolefin), der es in Verbindung mit einer "Quartz Phase Shift Photomask" von DuPont Photomasks ermöglicht, mit UV-Licht der Wellenlänge 193 nm zu arbeiten und dennoch Strukturen weit unter der Wellenlänge zu erzeugen. 0,08 µm (=80 nm) entspricht einer Breite von nur etwa 320 Atomen. (as)
