Globalfoundries bekommt 495 Millionen Euro fĂĽr Foundry-Ausbau

Die EU-Kommission genehmigt die staatliche Förderung für zwei deutsche Halbleiterwerke. Globalfoundries erhält 45 Prozent der Kosten.

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Renderbild von Globalfoundries neuem Halbleiterwerk

So soll Globalfoundries’ Halbleiterwerk in Dresden aussehen, wenn die vordere Erweiterung fertiggestellt ist.

(Bild: Globalfoundries)

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This article is also available in English. It was translated with technical assistance and editorially reviewed before publication.

Die Dresdener Niederlassung des Chipauftragsfertigers Globalfoundries nimmt die letzte Hürde zur Förderung des eigenen Ausbaus. Die EU-Kommission genehmigt einen staatlichen Zuschuss von 495 Millionen Euro. Bei erwarteten Kosten von 1,1 Milliarden Euro entspricht das einer Förderquote von 45 Prozent. Die Förderung erfolgt im Rahmen des European Chips Act, mit dem die EU die heimische Halbleiterproduktion stärken will. Er erlaubt höhere staatliche Förderungen als früher.

Die Genehmigung der EU-Kommission galt seit Monaten als Formsache. Globalfoundries begann schon vorab auf eigene Kosten mit dem Ausbau im Rahmen einer sogenannten förderunschädlichen Baugenehmigung. Die erweiterte Produktion könnte noch 2027 hochlaufen; bis Ende 2028 soll die Erweiterung ihre vollständige Produktionskapazität erreichen.

Globalfoundries spricht von zusätzlichen 5000 Quadratmetern Reinraum- und Laborfläche. Die jährliche Fertigungskapazität soll von rund 950.000 auf 1,1 Millionen belichtete Silizium-Wafer steigen.

Der Chipauftragsfertiger, auch Foundry genannt, hat sich auf Mikrocontroller mit integriertem Speicher, Analogschaltungen und Hochfrequenztechnik spezialisiert. Der wichtigste Fertigungsprozess des Herstellers heißt 22FDX: ein Prozess der 22-Nanometer-Klasse mit sogenanntem Fully Depleted Silicon-on-Insulator (FD-SOI)[Link auf Beitrag 1548320]. Die Chips sind meist winzig, sodass Tausende auf einem einzigen Wafer sitzen können. Bei einer Kapazität von über einer Million Wafer pro Jahr geht es schnell um Chips in Milliardenstückzahlen.

X-Fab bekommt derweil 128 Millionen Euro für den Ausbau eines Halbleiterwerks in Erfurt. Hier geht es um Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), also primär Sensoren mit älterer Fertigungstechnik. Die Produktion soll 2029 anlaufen.

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Die Förderung kommt auch deshalb zustande, da X-Fab MEMS mit neuartigen Packaging-Techniken kombinieren soll, die es bisher nicht in Europa gibt. Hiesige Unternehmen ohne eigene Halbleiterwerke hätten damit eine stärkere Alternative zu asiatischen Chipauftragsfertigern.

Globalfoundries Dresden und X-Fab verpflichten sich im Gegenzug für die Förderungen unter anderem, in Krisenzeiten EU-Aufträge prioritär zu behandeln. Außerdem sollen Bildungs- und Qualifizierungsmaßnahmen junge Ingenieure fördern. Beide Firmen beliefern unter anderem deutsche Autohersteller.

(mma)