EUV-Lithografie: SK Hynix bestellt ASML-Systeme im Wert von 6,9 Milliarden Euro

Es ist die größte jemals publik gewordene Bestellung beim niederländischen Halbleiterspezialisten ASML: SK Hynix kauft Lithografie-Systeme im Wert von gut 6,9 Milliarden Euro. Bis Ende 2027 soll der Speicherhersteller die letzten Systeme dieser Bestellung erhalten.

Die Bestellung ist so groß, dass sie eine Pflichtmitteilung an die südkoreanische Finanzaufsichtsbehörde (Financial Supervisory Service, FSS) erfordert. Die 6,9 Milliarden Euro entsprechen etwa zehn Prozent von SK Hynix' derzeitigen Vermögenswerten. Umgerechnet rund 69 Milliarden Euro betragen die Gesamtvermögenswerte, darunter unter anderem die Fertigungsanlagen nach Abschreibungen.

Systeme für EUV-Lithografie

Die 6,9 Milliarden Euro fließen in moderne EUV-Systeme, die extrem-ultraviolette Belichtungsquellen einsetzen. Sie eignen sich für die neuesten Fertigungsgenerationen. Um welche Modelle genau es sich handelt, ist unklar. Die Bestellung dürfte allerdings dutzende Systeme umfassen und primär für die Herstellung von DRAM (Arbeitsspeicher) gedacht sein.

Bisherige Modelle mit niedriger numerischer Apertur (Low-NA EUV), wie sie bislang ausschließlich in der Serienfertigung zum Einsatz kommen, kosten 170 Millionen bis 200 Millionen Euro. Die nächste Generation mit hoher numerischer Apertur (High-NA EUV) für noch feinere Chipstrukturen kostet in etwa doppelt so viel. Ein erstes High-NA-EUV-System hat SK Hynix bereits im Vorserienbetrieb.

SK Hynix gibt Gas

Derzeit beschleunigt SK Hynix genauso wie Samsung die Konstruktion neuer Halbleiterwerke. Projekte aus dem Jahr 2022 stehen jetzt vor der Fertigstellung, darunter ein neues Halbleiterwerk im neuen „Megacluster“ in Yongin. Andere Erweiterungen wie das Werk M15X in Cheongju sollen ebenfalls bald den Betrieb aufnehmen.

Bis sich das am Markt bemerkbar macht, vergeht allerdings einige Zeit. Vom Betriebsbeginn bis zur Serienproduktion planen Chipfertiger typischerweise mindestens ein halbes Jahr ein. Bis aus einem Silizium-Wafer fertige Chips werden, vergehen nochmals mehrere Monate. Ab Ende 2027 ist mit einer Besserung der Speicherkrise durch höhere Verfügbarkeit zu rechnen.

Fraglich ist, ob ASML das Bestellvolumen bereits in seinem letzten Geschäftsbericht eingepreist hat. Der wachsende Anteil von Speicherherstellern spricht dafür, ebenso ASMLs Kursentwicklung an der Börse. Die Aktie machte vor der Ankündigung etwas Boden gut, stagniert seitdem aber weitgehend. Im Wochen- und Monatsvergleich ist sie noch rot.

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(mma)