High-NA-Chips: Intels neuste Belichtungsanlage ist fertig
Intel hat von ASML die erste High-NA-Belichtungsmaschine geliefert erhalten und zusammengebaut. Sie wiegt über 150 Tonnen und verschafft Intel Vorsprung.
Twinscan EXE:5000 von ASML bei Intel Foundry in Oregon
(Bild: Intel Corp)
Intel Foundry meldet den Abschluss der Bauarbeiten an der ersten "serienreifen" Belichtungsmaschine mit extrem ultravioletten Wellenlängen und hoher numerischer Apertur (High NA EUV). Sie stammt von ASML und steht in Intels Forschungshalbleiterwerk in Hillsboro, Oregon ("D1X"). Jetzt läuft die Kalibrierung an; kommendes Jahr soll sie bis zu 220 Wafer pro Stunde belichten.
Ziel ist, Chips in noch kleineren Strukturen (unter 2 Nanometern oder 20 Ångström) zu erzeugen. Das senkt den Stromverbrauch und erlaubt, mehr Transistoren auf der selben Fläche unterzubringen. Außerdem kann die neue Anlage mit höherem Kontrast belichten, was die Belichtungszeit reduziert. Das beschleunigt also die Produktion.
Die Wellenlänge bei der Belichtung beträgt 13,5 Nanometer, was auf der Erde in der Natur nicht vorkommt. Die Anlage erzeugt dieses extrem-ultraviolette Licht, indem sie Zinn mittels Laser auf unvorstellbare 220.000 Grad Celsius erhitzt. Das ist laut Intel das 40-Fache der durchschnittlichen Oberflächentemperatur der Sonne. Bitte nicht zu Hause nachmachen. Das erzeugte Licht wird von einer Maske, die das gewünschte Schaltkreismuster darstellt, reflektiert, und dann von besonders exakten Spiegeln von Zeiss auf den Silizium-Wafer gelenkt. Diese Spiegel weisen Brechwinkel auf, die die Auflösung von 13,5 auf 8 nm verkleinern.
ASML verschafft Intel Vorsprung
Das niederländische Unternehmen ASML ist bislang das einzige, das diese Technik beherrscht. Die Anlage heißt Twinscan EXE:5000 und hat 350 Millionen Euro gekostet. Sie wurde in 43 Containern aus den Niederlanden geliefert und wiegt mehr als 150 Tonnen. Intel ist der Erstkunde für EXE:5000 und hat auch schon das Nachfolgemodell EXE:5200B bestellt. Kaufinteressierte Leser werden auch dabei Intel den Vortritt lassen müssen.
Mit der ersten Auslieferung hat Intel einen zeitlichen Vorsprung vor TSMC, Samsung und anderen Chipfertigern. Traditionell liefert ASML im ersten Jahr nur eine Handvoll der heiß begehrten neuen Belichtungsmaschinen aus einer komplett neuen Generation aus und skaliert die Fertigung dann hoch.
Beschreibung des Lichtwegs korrigiert.
(ds)