Chipfertigung: Verwirrung um chinesische Lithografie-Systeme
Angeblich soll die chinesische Firma SMEE bald Belichter mit 28-nm-Technik herstellen können. Die entsprechenden Quellen wurden jedoch gelöscht.
(Bild: Macro photo/Shutterstock.com)
Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) soll bald einen großen Schritt bei der Produktion chinesischer Lithografie-Systeme gehen. Ab Ende 2023 könnte die Firma erste Modelle vom Typ SSA/800-10W ausliefern, die Silizium-Wafer mit 28-Nanometer-Strukturen belichten. Das berichtete zumindest die staatliche chinesische Nachrichtenagentur Xinhua mit Verweis auf die chinesische Zeitung Securities Daily. Inzwischen haben beide Medien ihre Online-Berichte wieder gelöscht.
Die Meldung unter news.cn lässt sich nur noch im Webarchiv finden. Von Securities Daily sind nur noch PDF-Versionen der gedruckten Zeitung über Suchmaschinen auffindbar. Die Artikel-URL spuckt lediglich einen Error aus. Zahlreiche Webseiten geben nur Drittberichte wieder, etwa von der South China Morning Post.
Abhängigkeit von ASML
ASML aus den Niederlanden ist bislang noch einer der wichtigsten Zulieferer für chinesische Chipfertiger. Ab dem 1. September darf die Firma aufgrund von Handelsrestriktionen aber nur noch alte Lithografie-Systeme an chinesische Hersteller verkaufen. Diese eignen sich mit Mehrfachbelichtungen zwar grundsätzlich auch für Fertigungsprozesse bis zur 7-nm-Generation, sind aber langsamer und weniger zuverlässig als aktuelle Maschinen.
Der SSA/800-10W-Belichter von SMEE wäre ein wichtiger Schritt bei der Entwicklung und dem Bau chinesischer Lithografie-Systeme – auch wenn er nicht so fortschrittlich wie die alten ASML-Modelle wäre. Bisher bietet SMEE lediglich Systeme an, die sich bestenfalls für 90-nm-Prozesse eignen.
(Bild: Shanghai Micro Electronics Equipment, SMEE)
Schlechte Historie
Schon 2020 tauchten Berichte auf, dass SMEE seine 28-nm-Belichter bis Ende 2021 ausliefern will. Anfang 2023 wollte die Firma demnach schon bei 20 nm sein. Gelungen ist das offensichtlich nicht. Bis zur tatsächlichen Auslieferung wären wir bei Spekulationen daher vorsichtig. Andere chinesische Hersteller für moderne Lithografie-Systeme gibt es nicht. Huawei forscht an Belichtungstechnik mit extrem-ultravioletten (EUV-)Wellenlängen, kann aber noch keine Ergebnisse vorweisen.
Selbst wenn SMEE die Auslieferung bis zum Jahresende gelingt, läge China etwa zwölf Jahre hinter der Konkurrenz. Der Chipauftragsfertiger TSMC hat die Produktion mit 28-nm-Strukturen Ende 2011 begonnen. Anfang 2012 hat Intel seine Prozessorfamilie Ivy Bridge (Core i-3000) mit der damals fortschrittlichsten 22-nm-Technik in den Handel gebracht.
(mma)
