IBM schließt Partnerschaften für neue Chiptechnologien

IBM tritt dem EUV-Konsortium bei, um bei der Entwicklung der "Extreme Ultra Violet"-Lithografie nicht ins Hintertreffen zu geraten.

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Von
  • Klaus Peeck

IBM tritt dem EUV-Konsortium bei, um bei der Entwicklung des Lithografie-Verfahrens Extreme Ultra Violet nicht ins Hintertreffen zu geraten. Wie das Unternehmen mitteilt, werde man aber dennoch parallel die Entwicklung des bisher favorisierten EPL-Verfahrens (e-beam projection lithography) fortsetzen.

IBM entwickelt die EPL in Kooperation mit Nikon. Das Verfahren weist gegenüber der EUV-Lithografie zwar erhebliche Performance-Nachteile auf, kann aber potenziell noch feinere Strukturen generieren und soll früher, nämlich 2003, das Alpha-Teststadium verlassen. Für die EUV-Lithografie wird dies erst 2005 erwartet. IBM vermutet, dass künftig kombinierte EPL- und EUV-Prozesse verwendet werden könnten, die die jeweiligen Vorzüge beider Verfahren kombinierten.

IBM ist der letzte große Chipproduzent, der dem EUV-Konsortium beitritt. Dieses wurde 1997 von Intel, AMD und Motorola gegründet – später traten unter anderem noch Motorola, Micron Technologies und Infineon bei. Zur Vermarktung der EUV-Technologie bis zum Jahr 2005 arbeitet das EUV-Konsortium mit Tool-Herstellern wie der Silicon Valley Group und der niederländischen ASM Lithography zusammen, deren geplante Fusion zurzeit durch eine politische Entscheidung der Bush-Regierung verzögert wird.

Eine weitere Kooperation schmiedet IBM im asiatischen Raum mit Sony und dem Toshiba-Konzern. Auch hier ist das Ziel die Entwicklung neuer Chiptechnologien mit dem Code-Namen "Cell", die speziell auf den Spiele-, Internet- und Wireless-Bereich ausgerichtet sind. So wird die noch nicht offiziell angekündigte Sony PlayStation 3 als Kandidat für die neue Chiptechnologie gehandelt, die mit einer 0,1-µm-Technik arbeiten soll. Die Chips der aktuellen PlayStation 2 werden in 0,25- und 0,18-µm-Prozessen hergestellt.

Einen "Supercomputer-on-a-chip" wolle man mit seiner "Cell"-Linie entwickeln, lautet die ambitionierte Zielsetzung, dessen Rechenleistung die des "Deep Blue" von IBM weit übertreffen solle. Gleichzeitig wolle man durch die Koordinierung der Aktivitäten der beteiligten Partner unnötige Parallel-Entwicklungen vermeiden und damit Forschungskosten einsparen. Das Volumen der Kooperation wird auf 400 Millionen US-Dollar beziffert. (klp)