Lithografie-Systeme: ASML hat Rekord-Rückstau von 38 Milliarden Euro

ASML lässt die abgestürzte Nachfrage nach Halbleiterbauelementen kalt. Der Umsatz und Gewinn befanden sich im dritten Quartal 2022 weiter nahe dem Rekordniveau, was an mehreren Faktoren liegt: Schon seit Jahren übersteigt der Bedarf nach Lithografie-Systemen die Produktionsmöglichkeiten, insbesondere bei ASML – selbst mit weniger Neubestellungen hat die Firma noch einen riesigen Rückstau.

Vor allem die Chipauftragsfertiger TSMC und Samsung benötigen weitere hochpreisige Lithografie-Systeme mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik für ihre aktuellen Prozessgenerationen. Ein einzelner solcher Belichter kostete im dritten Quartal 2022 durchschnittlich 181 Millionen Euro.

Zudem haben laut ASML inzwischen alle Chipfertiger, die EUV-Technik verwenden, Belichtungsmaschinen mit hoher numerischer Apertur (High-NA EUV) bestellt. Sie ermöglichen feinere Strukturen dank größerer Spiegel und Linsen sowie steileren Brechwinkeln, womit die Auflösung von 13 auf 8 Nanometer sinkt. Ab 2025 sollen die Nigh-NA-EUV-Systeme produktionsbereit sein – zu den Abnehmern zählen Intel, TSMC und Samsung, aber auch Speicherhersteller wie SK Hynix.

Milliarden-Gewinn

Im Zeitraum vom Juli bis September 2022 nahm ASML 5,8 Milliarden Euro ein, 1,7 Milliarden blieben als Gewinn übrig. Verglichen mit dem Vorjahr stieg der Umsatz um 10 Prozent; der Gewinn war nahezu identisch. 80 neue und sechs alte, wieder aufbereitete Lithografie-Systeme verkaufte die Firma im dritten Quartal 2022. Gut 1,5 Milliarden Euro nahm ASML durch die Wartung von Maschinen und den Service bei Kunden ein.

Etwas mehr als die Hälfte der knapp 4,3 Milliarden Euro "System Sales" nahm ASML mit den Verkauf von 12 EUV-Belichtungsmaschinen ein. TSMC, Samsung und SMIC zählten offenbar zu den mit Abstand größten Kunden – US-Firmen wie Intel machten nur 5 Prozent der Verkäufe aus.

Hochpreisige Vorbestellungen

Chipfertiger haben derweil 150 neue Lithografie-Systeme im Wert von 8,9 Milliarden Euro vorbestellt. Für ASML ist das ein Rekordwert, der durch die Vorbestellungen von teuren High-NA-EUV-Maschinen zustandekommt. Der Einzelpreis soll bei mehr als 400 Millionen Euro liegen. Zum Vergleich: Im dritten Quartal 2021 nahm ASML 178 Vorbestellungen im Wert von 6,2 Milliarden entgegen, ein Quartal später 191 im Wert von 7,1 Milliarden Euro.

Der Produktionsrückstau wächst somit auf einen Gegenwert von 38 Milliarden Euro, wie Finanzchef Roger Dassen im Analystengespräch verriet. Die neuen US-Exportbeschränkungen gegenüber China jucken ASML daher wenig – die Firma wird all ihre produzierten Systeme auch ohne den Export nach China los.

Im jetzt laufenden vierten Quartal 2022 erwartet ASML einen Umsatz von 6,1 Milliarden bis 6,8 Milliarden Euro. Die Aktie stieg nach Bekanntgabe der Geschäftszahlen um 6 Prozent auf 430 Euro.

(mma)