Lithografie-Systeme: ASMLs Buchungen und Aktie stürzen ein

Chiphersteller wie Intel bestellen weniger Belichtungsmaschinen von ASML. Die niederländische Firma wird dafür abgestraft.

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High NA EUV Belichter bei Intel

Das erste High-NA-EUV-System bei Intel.

(Bild: Intel)

Lesezeit: 3 Min.

Düstere Stimmung beim weltweit wichtigsten Hersteller von Lithografie-Systemen für die Chipproduktion: Weil ASMLs Kunden weniger Maschinen buchen, straft die Börse das Unternehmen seit gestern ab. Nach dem versehentlich zu früh veröffentlichten Quartalsbericht fiel die Aktie zwischenzeitig um bis zu 20 Prozent. Beinahe 60 Milliarden Euro Marktkapitalisierung wurden so binnen eines Tages ausradiert. Mittlerweile hat sich die Aktie stabilisiert. Aktueller Firmenwert: 255 Milliarden Euro.

ASML nahm im dritten Quartal 2024 Buchungen im Wert von 2,6 Milliarden Euro entgegen – ein traditionell niedriger Wert, an dem ASML schon mal vor einem Jahr zu knabbern hatte. Damals ging es dem gesamten Chipmarkt wegen der Nachfrageflaute schlecht. Laut ASML geht es momentan langsamer als erwartet bergauf. Hinzu kommen die Verschiebungen bei der Intel Foundry, zuzüglich angeblicher Verzögerungen bei Samsungs US-Halbleiterwerken. Die Umsatzprognose für das gesamte Jahr 2025 revidiert ASML deshalb von 30–40 auf 30–35 Milliarden Euro.

Kurzfristig ist ASML allerdings kaum auf die Buchungen angewiesen, um die eigene Produktion auszulasten. Die Firma hat noch einen Rückstau im Wert von mehreren Dutzend Milliarden Euro – die Lithografie-Systeme der nächsten Quartale sind also schon verkauft.

Buchungen neuer Lithografie-Systeme bei ASML seit Anfang 2021. Zweimal in drei Jahren brachen die Bestellungen ein.

(Bild: heise online)

Das Quartal an sich lief positiv. ASML setzte knapp 7,5 Milliarden Euro um und strich einen Nettogewinn von 3,8 Milliarden Euro ein. Gegenüber dem Vorquartal entspricht das einem Wachstum von 20 beziehungsweise 32 Prozent. Weil ASMLs Verkäufe nicht klassisch saisonal geprägt sind, liegt der Vergleich zum Vorquartal näher als zum Vorjahr.

Die Bruttomarge lag derweil auf gewohntem Niveau von gut 50 Prozent – sie fiel nur minimal, weil ASML zuletzt wieder mehr ältere Systeme mit tief-ultravioletter Belichtungstechnik (Deep Ultraviolet, DUV) verkaufte. Sie belichten Wafer mit einer Wellenlänge von 193 Nanometern und sind günstiger als die komplexeren Maschinen mit extrem-ultravioletter Belichtungstechnik (EUV, 13,5 nm Wellenlänge). DUV-Belichtung reicht für ältere Prozesse bis zur 10-nm-Klasse und kommt auch noch bei aktuellen Fertigungsprozessen bei den gröberen Schichten zum Einsatz.

Die Produktionskapazität nahm zuletzt wieder zu: Im dritten Quartal lieferte ASML 106 neue Lithografie-Systeme und 10 wieder aufbereitete aus. Darunter befanden sich 11 EUV-Maschinen. Im Quartal zuvor waren es 89 neue und 11 aufbereitete Systeme, darunter acht EUV-Modelle.

Mit der Auslieferung von Lithografie-Systemen nahm ASML gut 5,9 Milliarden Euro ein – zusätzliche 1,5 Milliarden stammten von der Wartung bestehender Belichter bei den Kunden. Das größte Abnehmerland bleibt China mit einem Umsatzanteil von zuletzt 47 Prozent an den ausgelieferten Lithografie-Systemen.

China ist seit 2022 ASMLs wichtigstes Abnehmerland für Lithografie-Systeme. Die Firma darf aufgrund von Exportbeschränkungen nur DUV-Systeme an chinesische Hersteller verkaufen, und da auch nicht die besten Maschinen.

(Bild: ASML)

Die USA – traditionell mit einem niedrigen einstelligen Prozentanteil – schoss auf 21 Prozent hoch. Das dürfte primär an neuen Halbleiterwerken in Arizona liegen, wo TSMC derzeit die Produktion hochfährt und auch Intel schon erste Lithografie-System in den Neubauten installiert haben dürfte.

Im jetzt laufenden vierten Quartal erwartet ASML einen Umsatz zwischen 8,8 Milliarden und 9,2 Milliarden Euro. In dem Zeitraum verbucht die Firma die ersten zwei EUV-Systeme mit hoher numerischer Apertur (High-NA EUV), deren Preis auf mehr als 400 Millionen Euro pro Stück steigt. Zum Vergleich: Bisherige EUV-Belichter kosten 160–170 Millionen. Intel Foundry sollte der erste Abnehmer sein.

Update

Umsatzprognose für das Jahr 2025 ergänzt.

(mma)