Mikroelektronik-Standort Dresden wird erweitert

Das Chipmasken-Forschungszentrum AMTC (Advanced Mask Technologie Center) werde für rund 100 Millionen Euro erweitert und solle mindestens bis 2017 weitergeführt werden, hieß es beim Branchennetzwerk "Silicon Saxony".

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  • dpa

Der Dresdner Hightech-Standort "Silicon Saxony" wird weiter ausgebaut. Das Chipmasken-Forschungszentrum AMTC (Advanced Mask Technologie Center) werde für rund 100 Millionen Euro erweitert und solle mindestens bis 2017 weitergeführt werden, teilten die Eigentümer sowie das Wissenschaftsministerium mit.

Fotomaske vom AMTC

(Bild: AMTC)

Die vom AMTC produzierten Fotomasken sind für die Lithografie während der Herstellung von Halbleiterbauelementen nötig. Für jede einzelne Schicht solcher Chips wird eine spezielle Maske angefertigt. Laserlicht trifft durch die Maske auf einen Fotolack, welcher nach der Entwicklung die nicht belichteten Bereiche des Wafer-Dice abdeckt. Die freiliegenden Bereiche des Chips lassen sich dann durch Ätzung strukturieren.

AMTC ist damit ein Zulieferer etwa auch für Smartphones. Das Zentrum profitierte derzeit vom Boom bei mobiler Kommunikation, sagte eine Sprecherin des Halbleiterherstellers Globalfoundries. AMTC ist ein Gemeinschaftsunternehmen von Globalfoundries und dem Konzern Toppan. Der geplante Ausbau erweitere die Kapazitäten von AMTC.

Das AMTC war vor drei Jahren in eine Krise geraten. Als Folge der Insolvenz des Halbleiterherstellers Qimonda mussten 2009 fast 40 Prozent der damals rund 130 Mitarbeiter gehen. Qimonda war ein großer Auftraggeber für das AMTC. Heute beschäftigt das Zentrum rund 170 Menschen.

Das Branchenetzwerk "Silicon Saxony" umfasst Mikro- und Nanoelektronik, Photovoltaik, Software und Applikationen und hat mehr als 2000 Unternehmen mit insgesamt 50.000 Beschäftigten. Wissenschaftsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos) sagte: "Insgesamt können wir heute feststellen, dass der Mikroelektronikstandort Sachsen noch nie so gut dastand wie derzeit." (jk)