Neue Halbleiterwerke: Nicht genügend Belichtungsmaschinen vorhanden
In alle Milliardenprojekte von Intel, TSMC und Samsung müssen Belichtungsmaschinen von ASML, der allerdings mit der Produktion nicht hinterherkommt.
(Bild: ASML)
Der niederländische Halbleiterausrüster ASML kann nach jetzigem Stand nicht genügend Belichtungsmaschinen für alle neuen Halbleiterwerke liefern, die in den kommenden Jahren entstehen. Das Problem: Kein anderer Hersteller produziert Belichter mit extrem-ultravioletten (EUV-)Wellenlängen in Serie
Allein Intel investiert in den nächsten Jahren rund 72 Milliarden US-Dollar in die eigene Halbleiterfertigung: In den USA entstehen vier neue Werke, in Deutschland zwei und der Irland-Standort wird erheblich ausgebaut. TSMC plant im Jahr 2022 Investitionen von bis zu 44 Milliarden US-Dollar, darunter der Baubeginn eines 12-Milliarden-Dollar-Werks in den USA. Samsung will ebenfalls in den USA ein 17-Milliarden-Dollar-Werk bauen. Weitere Ankündigungen sollen folgen – Samsung hat noch rund 175 Milliarden US-Dollar Budget offen.
Im Gespräch mit der Financial Times haben ASML und Intel nun auf das Problem der Belichtungsmaschinen aufmerksam gemacht. ASML müsste die Produktion um circa 50 Prozent erhöhen, um die Nachfrage für die ganzen Neubauten abzudecken. Die Firma erhöht zwar jährlich die Produktion, würde die erforderliche Kapazität beim bisherigen Tempo aber nicht rechtzeitig erreichen. Rückstaus sind bei ASML schon seit Jahren üblich, da die Bestellungen von Chipfertigern nicht umgehend bedient werden können.
Die Zeit wird knapp
Noch ist ein Zeitpolster vorhanden, da erst mal die Gebäude der neuen Halbleiterwerke gebaut werden müssen. Intel, TSMC und Samsung kalkulieren dafür rund zwei Jahre ein – in den darauffolgenden 1-2 Jahren werden die Reinräume ausgestattet, während die Produktion anläuft. Die sprunghafte Bedarfssteigerung nach Belichtungsmaschinen kommt demzufolge ab 2024.
EUV-Belichter werden in allen Fertigungsprozessen ab der 7-Nanometer-Generation in einzelnen Fertigungsschritten benötigt. Mit den darauffolgenden Generationen steigt der Bedarf durch zusätzliche EUV-Belichtungsschritte.
ASML kann derweil die Produktion nicht beliebig erhöhen, weil die Firma selbst von Zulieferern abhängig ist. Zeiss etwa stellt in Deutschland die benötigten Linsen für ASMLs EUV-Belichter her, muss die eigene Produktion laut ASML-Chef Peter Wennink aber "signifikant" erhöhen. Das wiederum ist ebenfalls ein mehrjähriger Prozess vom Baubeginn neuer Fertigungsräume bis zu den fertigen Linsen.
(mma)
