Allianz der Halbleiterregionen: Europa lobbyiert jetzt für die Chipfertigung

Der Freistaat Sachsen hat die Gründung eines Lobbyverbands für Halbleiter angeschoben. 26 Regionen aus 12 Ländern schließen sich der Allianz der Halbleiterregionen an – international European Semiconductor Regions Alliance (ESRA) genannt.

Zusammen will die Allianz die Interessen der Halbleiterindustrie gegenüber der EU-Kommission vertreten. Letztere spielt im Rahmen des Europäischen Chipgesetzes (European Chips Act) eine wichtige Rolle, weil sie Förderprojekte genehmigen muss.

So lobbyiert der Verband etwa für eine großzügige Auslegung der festgelegten Förderbedingungen, damit möglichst viele Firmen und Projekte subventioniert werden können. So will man Chipfirmen, Chipentwickler und Zulieferer anlocken – auch aus dem Ausland.

Pro Ewigkeitschemikalien

Ein konkreter Lobby-Punkt betrifft sogenannte Ewigkeitschemikalien, deren Nutzung die EU einschränken will. In einem 10-Punkte-Plan schreibt die Allianz: "Das geplante Verbot bestimmter Chemikalien würde den Fortbestand der Halbleiterindustrie gefährden. Die EU muss daher auch in diesem Bereich für verlässliche Rahmenbedingungen sorgen."

Chipfertiger benötigen Per- und polyfluorierte Alkylsubstanzen (PFAS), auch Perfluorochemicals (PFCs) genannt. Diese Chemikalien lassen sich aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften in der Chipherstellung kurzfristig nicht ersetzen. So arbeiten Chiphersteller etwa beim Plasmaätzen mit Hexafluorethan (C₂F₆) und benötigen andere PFAS als Prozessgase und für Reinigungsvorgänge.

Optimierungspotential gäbe es dagegen bei der Vernichtung von PFAS-Rückständen. Anlagen für das "PFC Abatement" entfernen etwa mit Plasmafackeln bis zu 99 Prozent der PFAS aus der Abluft der Chip-Fertigungsmaschinen. Doch selbst das restliche Prozent erzeugt noch hohe Treibhauseffekte.

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Weitere Bestrebungen der ESRA betreffen die Sicherstellung von Energie, Wasser und Rohstoffen für die Chipfertigung. Die Allianz setzt sich für den europäischen Wissensaustausch zwischen Politik, Firmen, Universitäten, Forschungseinrichtungen und Kunden ein.

Mitgliederliste

In der Allianz sind bisher 12 Länder vertreten, weitere könnten in den nächsten Wochen noch dazukommen:

• Deutschland: Baden-Württemberg, Bayern, Hamburg, Hessen, Niedersachsen, Sachsen, Sachsen-Anhalt, Saarland, Schleswig-Holstein und Thüringen
• Spanien: Andalusien, das Baskenland, Valencia und Katalonien
• Niederlande: Flevoland und Nord-Brabant
• Österreich: Kärnten und die Steiermark
• Portugal: Region Centro
• Belgien: Flandern
• Frankreich: Auvergne-Rhône-Alpes
• Italien: Piemont
• Finnland: Tampere und Helsinki
• Tschechien: Südmähren
• Vereinigtes Königreich: Wales
• Republik Irland

Damit sind viele wichtigen Größen an Bord, etwa das Silicon Saxony mit Bosch, Infineon und Globalfoundries sowie Magdeburg mit seinen kommenden Intel-Halbleiterwerken. Über Bayern können sich außer Infineon etwa AMD, Apple, Intel und Micron einbringen. Mit den Niederlanden ist ASML als weltweit wichtigster Hersteller von Lithografie-Systemen involviert und aus Belgien das renommierte Forschungszentrum IMEC. Zeiss als wichtiger ASML-Zulieferer für Optiken ist über Deutschland verteilt. In Irland betreibt Intel eine große Fab. Auffällig ist, dass Polen fehlt: Dort baut Intel ein milliardenteures Packaging-Werk. Hingegen macht Wales mit, obwohl Großbritannien nicht mehr der EU angehört.

(mma)