Japaner werben mit kleinstem Globus der Welt

NTT wirbt mit einem nur 60 Mikrometer kleinen Globus für eine Apparatur, mit der man dreidimensionale Nano-Stukturen herstellen kann.

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Von
  • Wolfgang Stieler

NTT DoCoMo wirbt mit einem nur 60 Mikrometer kleinen Globus für eine Apparatur, mit der man dreidimensionale Nano-Stukturen herstellen kann. Die Apparatur arbeitet mit Hilfe der Elektronenstrahllithographie: Die NTT-Ingenieure entwickelten eine spezielle Halterung, mit der man das zu bearbeitende Material extrem präzise drehen kann. Dazu kommt eine Technik, um den Elektronenstrahl auf einer dreidimensionalen Oberfläche zu fokussieren. Die kleinsten Strukturen, die man damit herstellen kann, sind etwa zehn Nanometer groß. (wst)