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Chips schneller bauen mit UV-Mikro-LEDs

Erstmals lassen sich ultraviolett leuchtende LEDs im Mikrometermaßstab fertigen. Als Arrays mit hoher Dichte könnten sie die Fertigung von Experimentierchips drastisch beschleunigen.

Das Berliner Ferdinand-Braun-Institut (FBH) hat ein Verfahren zur Herstellung von Mikro-LEDs für den ultravioletten Spektralbereich entwickelt. Die Mikro-LEDs emittieren im UV-B-Bereich bei 310 Nanometern (nm), der Fertigungsprozess liefert nach Wunsch Durchmesser der Leuchtfläche von 1,5 Mikrometern (μm) bis 50 μm und Abstände von 2 bis 60 μm. Das ist hundert- bis tausendfach dichter als bei herkömmlichen UV-LEDs, weshalb das Verfahren laut dem FBH „höchste Anforderungen an die Justagegenauigkeit, Fertigungspräzision und Materialperfektion“ stellt (ct.de/ye92).

Einzelne Mikro-LEDs eignen sich für die Fluoreszenzanalytik, die Härtung von Kunststoffen sowie für die optische Kommunikation. Zu Arrays zusammengefügt, lassen sich mittels der Mikro-LEDs Halbleiter mit Strukturbreiten etwa in der gleichen Größenordnung fertigen, was beispielsweise heutigen Chips für die Leistungselektronik entspricht.