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Röntgenbild zeigt Chip nanometergenau

Mit Röntgenstrahlen haben Forscher Computerchips durchleuchtet. Ohne den Chip zu zerstören, berechneten sie aus den Aufnahmen 3D-Bilder, die bis auf vier Nanometer genau aufgelöst sind.

Erstmals gelang zerstörungsfrei ein Blick ins Innere eines Computerchips mit einer Auflösung von vier Nanometern.

Bild: PSI

Am Schweizer Paul-Scherrer-Institut (PSI) haben Forscher in Zusammenarbeit mit der ETH Zürich, der ETH Lausanne und der University of Southern California erstmals einen Computerchip vollständig fotografiert und dreidimensional mit einer Auflösung von vier Nanometern dargestellt, ohne ihn zu zerlegen. Diese Genauigkeit konnten bis dato nur zweidimensionale Aufnahmen mit einem Rastertunnelmikroskop (RTM) erreichen.

Aktuelle Computerchips sind mit mehr als 100 Millionen Transistoren pro Quadratmillimeter extrem dicht gepackt und zudem mehrschichtig aufgebaut. Ein 3D-Bild kann mit RTM-Aufnahmen nur entstehen, wenn man jede Schicht des Chips einzeln aufnimmt und dann nanometergenau abträgt, um auch darunterliegende Schichten zu erfassen (siehe c’t 17/2023, S. 126, ct.de/yh1w). Röntgentomografie, bei der eine Probe gedreht und von verschiedenen Seiten durchleuchtet wird, erzeugt zwar 3D-Bilder, aber nicht in einer vergleichbaren Auflösung, da bisher keine Linse existiert, die die Strahlung entsprechend bündeln kann.