Streit um Patente für Halbleiter-Fabrikationsanlagen

Die niederländische Firma ASML, einer der weltweit größten Hersteller von Lithografie-Geräten für die Hableiter-Chipherstellung, verklagt den japanischen Konkurrenten Nikon wegen Patentverletzung. Vor einem Bezirksgericht in Tokio klagt ASML auf Einstellung der Produktion und des Verkaufs bestimmter Nikon-Lithografie-Systeme, die einen von ASML patentierten "Wafer Handler" zur Handhabung der Siliziumscheiben enthalten. Außerdem verlangen die ASML-Anwälte umgerechnet rund 97 Millionen Euro Schadenersatz für bereits ausgelieferte Geräte.

Nach eigenen Angaben hat ASML damit die dritte Maßnahme gegen Nikon innerhalb von fünf Monaten eingeleitet; die beiden anderen Beschwerden laufen vor einem Gericht in Kalifornien und bei der International Trade Commsission der USA (USITC). In beiden Fällen sollen die eigentlichen juristischen Auseinandersetzungen wohl erst im Jahre 2004 weitergehen.

Vor allem in schwierigen wirtschaftlichen Zeiten führen die Konkurrenten im Halbleiter-Anlagenmarkt ihren Streit um Marktanteile mit harten Bandagen. Viele Fortschritte der Lithografie-Technik waren nur mit massiver finanzieller Unterstützung der öffentlichen Hand möglich; in den USA gab es daher vor der Übernahme der Silicon Valley Group duch ASML Bedenken, das Know-how des US-Unternehmens den Europäern zugänglich zu machen. Immer wieder gibt es in der Branche daher Anlass zu juristischem Streit.

Bis vor rund zwei Jahren hielt Philips einen 23,7-Prozent-Anteil an ASML, mittlerweile sind es nur noch 6,7 Prozent. (ciw)