Forschungsverbund arbeitet mit Hochdruck an 32-nm-Lithografie
Das belgische Forschungszentrum IMEC kooperiert mittlerweile mit neun Chip-Firmen bei der Entwicklung eines 193-nm-Lithografiesystems für 32-Nanometer-Strukturen.
Die extremen technischen Herausforderungen und der enorme Kostendruck zwingen die Halbleiter-Bauelementehersteller zu immer umfangreicheren Kooperationen. Mit dem US-amerikanischen Speicherchip- und Bildsensor-Hersteller Micron ist jetzt der neunte Chiphersteller dem 32-Nanometer-Forschungsverbund des belgischen Mikrostruktur-Forschungszentrums IMEC beigetreten; mit Infineon, Intel, Matsushita/Panasonic, Philips, Samsung, STMicroelectronics, Texas Instruments und TSMC gehören bereits acht der weltweit größten Chipfirmen dazu.
Das "(Sub-)32-Nanometer"-Projekt hat sich zum Ziel gesetzt, ein großserientaugliches Produktionsverfahren für Halbleiter-Bauelemente mit 32-nm-Strukturen zu entwickeln, das noch mit 193-nm-ArF-Lasern und Immersionslithografie arbeitet. Intel hatte ursprünglich angekündigt, im Jahre 2009 bereits EUV-Lithografie zur Belichtung von 32-nm-Strukturen einsetzen zu wollen. Weil die EUV-Lithografie aber noch unreif ist, zumindest was den Großserieneinsatz angeht, und möglicherweise recht teuer wird, arbeiten IMEC und Chipfirmen an der Optimierung der 193-nm-Immersionslithografie für die 32-nm-Fertigungstechnik. Einige Schlagworte in diesem Zusammenhang sind Hyper-NA Immersion (Belichtung von Wafern in hochbrechender Flüssigkeit mittels Linsen mit sehr hoher numerischer Apertur) und Double Patterning (Doppelstrukturierung).
Mit dem Beitritt von Micron zum 32-nm-Projekt soll dieses auch stärker die Speicher-Chips berücksichtigen; bisher standen eher die Logikschaltungen im Vordergrund, doch bei DRAM- und Flash-Bausteinen tauchen noch eine Reihe spezifischer Fragen auf im Zusammmenhang mit der Strukturverkleinerung, etwa in Bezug auf die Ladungserhaltung (Robustheit von Flash-Zellen, Speicherkapazität von DRAM-Kondensatoren).
Das IMEC mit seinen etwa 1400 Mitarbeitern finanziert sich zum größten Teil aus Industriemitteln (68 Prozent), rund ein weiteres Fünftel des Etats trägt die flämische Industrie. Die EU zahlt 8 Prozent der Kosten und die European Space Agency (ESA) 2 Prozent. (ciw)
