Siltronic startet Produktion der 300-mm-Wafer in Freiberg

Das sächsische "Silicon Valley" wächst weiter. Vor einem Monat erst war Richtfest für das 2,4 Milliarden Euro teure zweite Chipwerk des US-amerikanischen Halbleiterproduzenten AMD in Dresden. Am kommenden Dienstag nun startet in Freiberg der Halbleiterzulieferer Siltronic AG (München) in seinem neuen Werk die Produktion von 300-Millimeter-Wafern. Die pizzagroßen Wafer sind die Ausgangsbasis für künftige Mikrochip-Generationen, wie sie AMD und Infineon in Dresden fertigen und entwickeln.

Das Investitionsvolumen der Siltronic-Fertigungslinie fällt im Vergleich zu AMD mit 432 Millionen Euro zwar deutlich bescheidener aus. Wirtschaftsminister Martin Gillo (CDU), der frühere Dresdner AMD-Chef, kommt mit Blick auf die neue Waferschmiede vor den Toren Dresdens dennoch ins Schwärmen: "Mit der 'Fab 300-2' von Siltronic entsteht in Freiberg die weltweit modernste Großserien-Produktion für 300-Millimeter-Wafer aus Reinstsilizium." Zugleich würden sie nun erstmals außerhalb Japans in Massen hergestellt: "Sachsen kommt damit ein gutes Stück auf seinem Weg zu einem führenden Halbleiter-Cluster in Europa voran."

Den Large Wafern, wie sie jetzt in Freiberg gefertigt werden, gehört die Zukunft. "Den Chipherstellern bietet ein 300-Millimeter-Wafer, der gegenüber einer 200-Millimeter-Scheibe eine doppelt so große Fläche hat, eine deutlich höhere Produktivität. Das ist in unserer Industrie wettbewerbsentscheidend", erläutert Siltronic-Vorstandsvorsitzender Wilhelm Sittenthaler. Die Wafer der neuen Generation erhöhen die Produktivität der Chiphersteller um das 2,25-fache. Weil weniger Verschnitt anfällt, passen sogar etwa 2,4-mal so viele Chips gleicher Größe auf einen 300-mm-Wafer als auf die bisher üblichen 200-mm-Siliziumscheiben. Bezogen auf einen einzelnen Baustein soll die Herstellung auf 300-mm-Wafern etwa 30 Prozent billiger sein und weniger Energie und Wasser benötigen als die Fertigung auf 200-mm-Wafern.

Die Eröffnung der neuen, in anderthalb Jahren errichteten Fabrik in Freiberg sei ein Meilenstein für das Unternehmen, meinte der Siltronic-Chef: "Damit bleiben wir Schrittmacher für die Branche." Siltronic, ein Tochterunternehmen des Münchner Wacker-Konzerns, ist nach eigenen Angaben neben zwei japanischen Firmen das einzige Unternehmen, das die 300-Millimeter-Wafer in Stückzahlen von mehr als 50.000 im Monat produzieren kann. In Freiberg sollen zunächst im Monat 60.000 Wafer hergestellt werden. Ist der Endausbau 2006/2007 erreicht, sollen es 150.000 monatlich sein. Entstehen in der ersten Phase zunächst rund 400 Arbeitsplätze, sollen dann noch einmal etwa 200 hinzukommen.

Siltronic hatte bei der Standortsuche auch Portland im US-Bundesstaat Oregon und Singapur im Blick, entschied sich dann aber doch für Freiberg. Für die sächsische Stadt, betont der Sprecher der Wacker-Geschäftsführung, Peter-Alexander Wacker, sprachen die vorhandene Infrastruktur und hoch qualifizierte Mitarbeiter vor Ort, dazu eine hervorragende Kooperation mit Freistaat und Bund. Der Konzern verschweigt auch nicht, dass zugesagte Subventionen ebenso ein wesentlicher Faktor für die Ansiedelung waren. Im Februar genehmigte die EU-Kommission staatliche Beihilfen in Höhe von knapp 121 Millionen Euro. (Peter Dietrich, dpa) / (jk)