Bit-Rauschen, der Prozessor-Podcast: High-NA-EUV für Chips der Zukunft
Neue Belichtungssysteme für die Chipherstellung ermöglichen noch feinere Strukturen, auch dank ZEISS-Technik aus Deutschland. Podcast-Folge 2024/26.
Die Herstellung von Halbleiterchips mit feinsten Strukturen steht vor einem Generationswechsel: Für die Fotolithografie kommen neue Maschinen zum Einsatz. Die Technik heißt High-NA EUV, es geht dabei um die Belichtung mit Strahlung aus dem extremen ultravioletten (EUV) Spektrum sowie mit hoher Numerischer Apertur (NA). High-NA-EUV-Lithografie soll noch feinere Strukturen ermöglichen als die bisherige EUV-Technik.
(Bild: ZEISS)
Dank der verkleinerten Strukturen passen künftig mehrere hundert Milliarden Transistoren auf einen einzigen Siliziumchip. Dazu müssen allerdings sehr viele Details der Technik verbessert werden.
Darüber sprechen wir im Podcast Bit-Rauschen mit Dr. Albert Voit von der Firma ZEISS. Letztere hat viele der wesentlichen Komponenten für High-NA-EUV-Lithografie entwickelt und liefert sie an den niederländischen Technologiepartner ASML.
Podcast Bit-Rauschen, Folge 2024/26 :
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Über EUV-Lithografie hatten wir bereits in den älteren Podcast-Folgen 2023/5 und 2022/14 gesprochen:
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Wir freuen uns über Anregungen, Lob und Kritik zum Bit-Rauschen. Rückmeldungen gerne per E-Mail an bit-rauschen@ct.de.
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(ciw)
