IBM und BASF kooperieren bei der Entwicklung von Chemikalien

IBM und der deutsche Chemiekonzern BASF entwickeln gemeinsam Prozesschemikalien für die Herstellung der ab 2010 erwarteten Chips mit 32-Nanometer-Strukturen.

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Die 2005 von der Merck KGaA übernommene BASF-Abteilung Electronic Chemicals kooperiert mit IBM bei der Entwicklung von Prozesschemikalien für die Herstellung der ab 2010 erwarteten Halbleiterbauelemente mit 32-Nanometer-Strukturen. Laut Dr. Ronald D. Goldblatt von IBM Research wird "die Chemie eine immer wichtigere Rolle bei der Entwicklung der IC-Produkte der nächsten Generation spielen." Die BASF verfüge über viele Jahre Erfahrung auf dem Gebiet von Prozesschemikalien für die Halbleiterindustrie.

IBM und die BASF wollen an ihren jeweiligen Standorten Yorktown Heights (im US-Bundesstaat New York) und in Ludwigshafen kooperieren. Es gibt bereits mehrere Entwicklungskooperationen zwischen Chemiekonzernen und Halbleiterchipherstellern, meistens aber konkreter auf einzelne Produktgruppen wie Fotolacke oder Lithographiemasken bezogen. (ciw)