Licht extrem

Absolute Sicherheit gibt es für Bernd Abel nicht, wohl aber niedriges Risiko. Deshalb hat der 44-jährige Chemieprofessor für seinen sechsjährigen Sohn noch den Kindersitz im Audi. Und Sicherheit vor Risiko gilt auch für sein jüngstes Baby: das Göttinger Unternehmen Microliquids, eine Ausgründung aus dem Max-Planck-Institut für biophysikalische Chemie und der Universität Göttingen. Microliquids entwickelt Komponenten für UV-Lichtquellen für die Halbleiter-Industrie - eine risikoreiche Branche. Abel und seine drei Mitgründer investierten nur so viel, wie sie auch eingenommen haben. Nach einem Jahr als GmbH gönnt sich die Firma nicht mal eine Sekretärin. "Es ist leicht, zehn Leute einzustellen und das Geld schnell zu verbrennen", sagt Abel, "wir wollen, dass alles Bestand hat."

Ob das Baby laufen lernt, wird sich im kommenden Jahr zeigen. Dann entscheiden die vier großen Hersteller von Lichtquellen für die Chip-Lithografie, mit welcher Technologie sie die Wellenlänge von 13 Nanometern - extremes UV-Licht (EUV) - erzeugen wollen. Zwei Verfahren konkurrieren miteinander, und auf eines davon setzt Microliquids.

In einem Labor des Max-Planck-Instituts haben Abel, Spangenberg und Mitgründer Ales Charvat einen Prototyp ihrer Geschäftsidee aufgebaut: eine Vakuumkammer mit ein paar Bullaugen. Aus einer Gasflasche strömt das Edelgas Xenon durch einen Schlauch zur Kammer. Dort wird es auf minus 100 Grad gekühlt, verflüssigt und anschließend durch eine Mikrodüse in die Kammer gespritzt. Der Strahl ist dünner als ein Haar - deshalb "Microliquids". Durch die Verdampfungskälte wird dem Xenon noch mehr Wärme entzogen - der Xenon-Faden gefriert. Schießt man nun mit einem intensiven Laserstrahl auf das "arme Target", wie Spangenberg sagt, "ist darin der Teufel los". Elektronen werden aus den Atomschalen katapultiert, mikroskopische Schockwellen erschüttern den filigranen Kristall. Das dabei entstehende Plasma strahlt EUV-Licht mit der gewünschten Wellenlänge von 13,5 Nanometern ab.

Microliquids hält fünf Patente auf die Herstellung der dünnen Strahlen, darunter eins für die Mikrodüse aus Quarzglas. Drei Vakuumkammern mit Mikrodüse hat das Unternehmen bislang verkauft. Aber die Hersteller von Lithografiegeräten wollen nicht nur eine Maschine mit Xenon-Düsen kaufen, sie wollen eine komplette EUV-Lichtquelle. Und das heißt für Microliquids: teure Laser anschaffen, mit denen man auf das Edelgas schießen kann.

Mit Unterstützung von Garching Innovations, der Patentberatung der Max-Planck-Gesellschaft, verhandelt Microliquids jetzt mit Kapitalgebern. Doch was passiert, wenn 2005 nicht die Laser-Xenon-Technologie, sondern das konkurrierende Verfahren der Gasentladung (billiger, aber dreckiger) zur EUV-Quelle der Zukunft auserkoren wird? Die Mikroflüssigkeiten könnten auch als Lichtquellen für Röntgenmikroskope umfunktioniert werden, sagt Abel. Das Baby ist also angeschnallt. (sma)