Das weltweit kleinste Thermometer misst Fehlerstellen im Chip

Das weltweit kleinste "Chip-Thermometer" kann winzigste, durch Fertigungsfehler verursachte Temperaturunterschiede auf Mikrochips entdecken und messen. Das Chip-Thermometer ist gerade mal 100 Nanometer groß. Entwickelt wurde das Nanowerkzeug von Ivo Rangelow und Mitarbeitern am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) der Universität Kassel. Das Kasseler Team kooperierte dabei Wissenschaftler der Universität Maryland, USA.

Das Thermometer ermöglicht es, Temperaturen mit der Genauigkeit von einem tausendstel Grad Celsius auf einer Skala mit einer Ortsauflösung in der Größenordnung von einem Nanometer zu messen. Das Instrument besteht aus einem Nanodraht mit einem Durchmesser von etwa 100 nm in Form einer Thermoschleife. Um die Temperatur zu messen, wird die Änderung des elektrischen Thermoschleifenwiderstandes bei einer Temperaturveränderung genutzt. Darüber hinaus wird die Thermoschleife auf einen weichen Biegebalken gebracht und kann damit gleichzeitig als Abtastspitze die Topologie des Chips abbilden. Die Wissenschaftler stellten ihre Arbeit vor kurzem auf einer Internationale Konferenz für Mikro- und Nanowissenschaften in Jena vor. (wst)