Intel droht ein Lieferengpass
Noch in diesem Jahr will Intel Prozessoren mit verkleinerten Strukturen herstellen, doch ein wichtiger Zulieferer der nötigen Fertigungstechnik hat technische Schwierigkeiten.
Noch in diesem Jahr will Intel Mobil- und Desktopprozessoren mit verkleinerten Strukturen herstellen. Nach Angaben von US-Medien haben die Zulieferer der nötigen Fertigungstechnik jedoch massive Schwierigkeiten; das könnte zu Lieferengpässen oder zur Verzögerung bei der Einführung der neuen Prozessoren führen.
Solche im 0,13-µm-Prozess P860 gefertigten CPUs sollen die aktuellen Versionen des Pentium III, Mobile Pentium III und Pentium 4 ablösen. Die kleineren Strukturgrößen sorgen für geringere Fertigungskosten, weniger Leistungsaufnahme und höhere mögliche Taktfrequenzen. Die verkleinerten Strukturen lassen sich mit bestehender Prozesstechnik für 0,18-µm-Strukturen nur mit riesigem Aufwand fertigen. Hersteller wie Intel und TSMC haben zwar bereits Pilotanlagen für 0,13-µm-Chips, fertigen aber bisher nur Kleinmengen oder Prototypen.
US-Medien berichten nun, dass die Silicon Valley Group (SVG), ein wichtiger Hersteller von 0,13-µm-Fertigungstechnik, die Auslieferung von Anlagen des Typs "Micrascan V" aus technischen Gründen um bis zu vier Monate verzögern muss. Diese Anlagen sind mit Argonfluoridlasern ausgerüstet, die Licht mit einer Wellenlänge von 193 Nanometern emittieren. Nur mit solchen Lithografiesystemen lassen sich 0,13-µm-Chips wirtschaftlich fertigen.
Dieselben US-Quellen berichten, dass Intel Probleme mit der rechtzeitigen Auslieferung der neuen Prozessoren dementiert. Alles laufe nach Zeitplan. Auch wenn Intel ein anderes Verfahren als 193-nm-Laser zur Belichtung von 0,13-µm-Strukturen nutzt, könnten prinzipielle Probleme mit dieser Technik andere große Hersteller wie TSMC oder Motorola und deren Kunden in Schwierigkeiten bringen. Intel-Konkurrent AMD will erst 2002 0,13-µm-Prozessoren herstellen. (ciw)
