Verkaufsstopp bei ASML: China soll keine Lithografie-Systeme mehr bekommen
Die USA wollen in den Niederlanden offenbar ein Exportverbot für ASML durchsetzen. Der Marktführer soll chinesische Firmen wie SMIC nicht mehr beliefern.
(Bild: ASML)
Der niederländische Hersteller ASML sieht sich mit weiteren Exportverboten an chinesische Firmen konfrontiert. Laut der Nachrichtenagentur Bloomberg setzt sich das US-Handelsministerium für eine Ausweitung ein: ASML dürfte dann keinerlei Belichtungsmaschinen mehr nach China liefern, was die Ambitionen der chinesischen Regierung deutlich bremsen würde.
Bisher darf ASML keine Belichter nach China verkaufen, die mit extrem-ultravioletten (EUV-)Wellenlängen arbeiten und für die modernsten Fertigungsprozesse notwendig sind. Die niederländische Regierung stellt nach Drängen der USA seit Jahren keine Exportlizenz aus. ASML ist bis dato die einzige Firma, die solche EUV-Lithografie-Systeme herstellt – allein das schränkt etwa den chinesischen Chipauftragsfertiger SMIC ein.
Der stellvertretende US-Handelsminister Don Graves war Ende Mai 2022 bereits in den Niederlanden, wo er unter anderem ASMLs Führungsriege besuchte. Nach Informationen von Bloomberg sollen die Verantwortlichen dort bereits einen Verkaufsstopp besprochen haben.
Für ASML verkraftbar
ASML würde so ein Verkaufsstopp wahrscheinlich nicht allzu sehr schmerzen, da die Nachfrage nach Belichtungsmaschinen die derzeitige Produktionskapazität übersteigt. Das trifft auch auf Systeme mit Immersionslithografie zu, die Wellenlängen von 193 Nanometern zur Belichtung verwenden (EUV: 13,5 nm). Solche benötigen die Chipauftragsfertiger TSMC und Samsung selbst bei den modernsten 3-nm-Prozessen, da dort nicht alle Schichten mit EUV-Maschinen belichtet werden. Intel wechselt erst bei seiner nächsten Prozessgeneration Intel 4 auf EUV-Technik.
China pumpt derweil jährlich Milliardensummen in die lokale Halbleiterindustrie, um sich vom Westen abzukoppeln, ist aber insbesondere auf den Zulieferer ASML angewiesen. Der größte chinesische Chipauftragsfertiger SMIC produziert bislang mit 12-nm-Strukturen in vergleichsweise geringen Kapazitäten. Sowohl zur Kapazitätserweiterung als auch zur Entwicklung von feineren Fertigungsprozessen benötigt SMIC neue Belichter.
(mma)