Chipfertigung: ASML will dieses Jahr Belichter für 20 Milliarden verkaufen
Die Produktion von Belichtungsmaschinen läuft bei ASML weiter auf Anschlag. Das bringt auch viel Geld für die Forschung neuer Lithografie-Generationen.
ASMLs EUV-Belichter NXE:3400 von innen.
(Bild: ASML)
Das Nachfrageloch bei Halbleitern lässt den Ausrüster ASML kalt: Der Umsatz stieg 2022 von 18,6 Milliarden auf fast 21,2 Milliarden Euro, 2023 sollen es mindestens 26,4 Milliarden werden. Das Wachstum kommt insbesondere vom Ausbau der eigenen Produktion – auch weiterhin bestellen die Chipfertiger TSMC, Samsung, Intel & Co. mehr Lithografie-Systeme, als ASML herstellen kann.
Im Jahr 2022 verkaufte ASML insgesamt 345 Lithografie-Systeme, darunter 317 neu gebaute und 28 neu aufbereitete gebrauchte. 40 der Maschinen bearbeiten Wafer mit extrem-ultraviolettem (EUV-)Licht im Wellenlängenbereich von 13,5 Nanometern – sie sind der Umsatztreiber mit 7 Milliarden Euro beziehungsweise einem Anteil von 46 Prozent an den System-Erlösen. Anders ausgedrückt: Jedes EUV-System kostete etwa 175 Millionen Euro. Formell hat ASML 14 weitere EUV-Belichter verkauft, die gerade allerdings erst bei den Kunden aufgebaut und daher im nächsten Quartalsbericht auftauchen werden.
Chipfertiger benötigen Belichtungsmaschinen mit tief-ultraviolettem (DUV-)Licht (ab 193 nm) aber auch weiterhin; selbst die modernsten 3-nm-Prozesse belichten nur einen Teil der Wafer-Lagen mit EUV-Technik. Da DUV-Belichter weniger komplex sind, kosten sie deutlich weniger: Insgesamt 305 Systeme brachten 7,7 Milliarden Euro ein – grob umgelegt 25 Millionen pro Belichter.
Anders als 2021 taucht Europa in den 2022er-Zahlen wieder mit einem kleinen Anteil auf. Systeme für mehr als 300 Millionen Euro gingen an europäische Chipfertiger.
(Bild: ASML)
Mehr Kapazität
Im Jahr 2023 will ASML die Produktion auf 60 EUV- und 375 DUV-Systeme (inklusive aufbereiteter Modelle) hochfahren. Die Umsätze beider Gruppen sollen sich auf jeweils rund 10 Milliarden Euro angleichen. Den zur Prognose von mindestens 26,4 Milliarden Euro fehlenden Rest soll die Wartung bereits verkaufter Belichter einspielen – 2022 brachte ASML das Servicegeschäft gut 5,7 Milliarden Euro ein.
Der Produktionsanstieg reicht aber auch weiterhin nicht, um den Rückstand im Wert von 40,4 Milliarden Euro aufzuholen, zumal jedes Quartal weitere Bestellungen hinzukommen.
Lesen Sie auch
Chip-Industrie: Besuch im Maschinenraum von ASML
Viel mehr Geld für Forschung
Trotz der guten Zahlen sank ASMLs Gewinn von knapp 5,9 Milliarden Euro (2021) auf gut 5,6 Milliarden Euro (2022). Das lag maßgeblich an dem starken Anstieg der Forschungs- und Entwicklungsausgaben auf fast 3,3 Milliarden Euro (2021: gut 2,5 Milliarden), zudem hat ASML für Vertriebs-, Verwaltungs- und Gemeinkosten (SG&A) mehr Geld aufgebraucht (946 Millionen statt 726 Millionen Euro). Im laufenden ersten Quartal 2023 sollen die Forschungs- und Entwicklungsausgaben verglichen mit Ende 2022 noch einmal um 6,5 Prozent auf 965 Millionen Euro steigen.
Die Börse hat die Bekanntgabe der Geschäftszahlen nicht sonderlich gut aufgenommen. ASMLs Aktie sank im Anschluss um 2,5 Prozent auf rund 600 Euro.
Text ergänzt, dass ASML 14 weitere EUV-Systeme verkauft hat, die allerdings erst noch aufgebaut werden und daher nicht in den letztjährigen Zahlen auftauchen.
(mma)