Innovationspreis für Nanotechnik-Startup

Der Innovationspreis der deutschen Wirtschaft, den die Wirtschaftswoche und der Wirtschaftsclub Rhein-Main gemeinsam vergeben, geht in diesem Jahr an BMW, Schollglas und das Startup-Unternehmen Nawotec. Das als Ausgründung der Deutschen Telekom 1999 gestartete Unternehmen erhält den Preis für ein Gerät zur Reparatur von Lithographie-Masken für die Herstellung von Halbleiter-Chips. Mit dem Gerät, das aus einer Kombination von Raster-Elektronenmikroskop und einem aufwändigen Gaszuführungssystem besteht, will Nawotec "den Weltmarkt erobern".

Der Elektronenstrahl des Mikroskops, das der Nawotec-Partner LEO Elektronenmikroskopie (Carl Zeiss Gruppe) beisteuert, hat zwei Funktionen: Er macht die Strukturen sichtbar und er gibt an das Gas, das aus der Düse strömt, Energie ab, so dass es sich auf der Maskenunterlage verfestigt, um fehlende Strukturen zu ergänzen. Eine andere Gassorte wirkt in Verbindung mit dem Elektronenstrahl wie ein feiner Radiergummi, der fehlerhafte Strukturen entfernt.

Wissenschaftsministerin Edelgard Bulmahn überreicht die Preise, die in drei Kategorien vergeben werden, an diesem Samstag bei einer Gala in der Alten Oper in Frankfurt/Main. (wst)