75-Nanometer-Fertigung bei Qimonda und Nanya
Die Ex-Infineon-Speichersparte Qimonda hat gemeinsam mit dem taiwanischen Partner Nanya die 75-Nanometer-Fertigungstechnik qualifiziert.
Qimonda beginnt mit dem Umstieg der DRAM-Chipfertigung von 90-Nanometer- auf 75-Nanometer-Anlagen; der neue Herstellungsprozess soll Strukturgrößen bis hinab zu 70 Nanometern ermöglichen. Auch der taiwanische Partner Nanya will die 75-Nanometer-Fertigungstechnik nutzen.
Im Werk Dresden hat Qimonda bereits erste 75-nm-DDR2-SDRAM-Chips mit 512 MBit Kapazität hergestellt. Die 75-nm-Fertigung verspricht potenziell eine um 40 Prozent höhere Chip-Ausbeute pro 300-Millimeter-Wafer. Die feineren Strukturen sollen auch die wirtschaftliche Produktion künftiger 2-GBit-Chips ermöglichen.
Mit Nanya betreibt Qimonda das Jointventure Inotera, beide Firmen entwickeln gemeinsam neue Fertigungsverfahren. Qimonda lässt DRAMs auch bei Winbond herstellen. (ciw)
