350 Nanometer: Russland baut erste eigene Lithografie-Systeme
Die ersten Lithografie-Systeme aus Russland eignen sich für 350-Nanometer-Chips. Das entspricht Technik aus den 1990er-Jahren.
(Bild: raigvi / Shutterstock)
Russland meldet einen Erfolg bei der Produktion heimischer Chip-Fertigungstechnik: Das Zelenograd Nanotechnology Center (ZNTC, ЗНТЦ) stellt laut Mitteilung zusammen mit Planar (ПЛАНАР) das erste russische Lithografie-System her. Planar hat seinen Hauptsitz in Belarus.
Bisher waren russische Chipfertiger wie Angstrem auf ausländische Lithografie-Systeme angewiesen. Dazu sollen sie laut niederländischen Medien auch ausgediente Systeme von ASML aus China importiert haben.
(Bild: ZNTC)
Jahrzehntelanger Rückstand
Die russische Fertigungstechnik liegt allerdings weit hinter dem Stand der Technik in Taiwan, den USA, China und anderen Industrieländern zurück. Das ZNTC-System kann eigenen Angaben zufolge nur verhältnismäßig grobe Strukturen mit 350 Nanometern auf 200 mm kleinen Silizium-Wafern belichten. Zu den Details schweigen sich die Verantwortlichen aus. Es ist nur kryptisch von einem Festkörperlaser die Rede.
Westliche und asiatische Chipfertiger haben in den 90er-Jahren 350-nm-Chips hergestellt, Intel etwa den Pentium P54CS und P55C und MIPS Technologies den VR4300i für die Nintendo-64-Konsole.
Der weltweit größte Chipauftragsfertiger TSMC wechselt in diesem Jahr auf 2-nm-Fertigungstechnik mit 300-mm-Wafern.
Fürs Militär interessant
Russland hinkt damit drei Jahrzehnte hinterher. Für Desktop-PCs, Server, Notebooks oder Smartphones sind keine konkurrenzfähigen Prozessoren oder andere Logikchips herstellbar. Die angekündigten neuen Produktionslinien dürften für Mikrocontroller und Sensoren gedacht sein. Ein denkbarer Abnehmer: das Militär.
Einige Chips, etwa für Marschflugkörper, stellt Russland selbst her. Auch mit eigenen Lithografie-Systemen bleibt Russland jedoch von ausländischen Herstellern abhängig: In fehlgezündeten Marschflugkörpern fanden Forscher unter anderem Signalprozessoren (DSPs) von Texas Instruments (TI) mit 40-nm-Technik und feiner. Russische Firmen sollen bisher Chips mit 90-nm-Strukturen selbst herstellen können.
Das ZNTC will bis Ende 2026 die Entwicklung von eigenen Lithografie-Systemen für 130-nm-Prozesse abschließen. Einsatzbereit wären solche dann vermutlich 2027 oder 2028. 130 nm entspricht einem Technikstand der frühen 2000er-Jahre. Bereits 2022 kündigte die Lobatschewski-Universität Nischni Nowgorod die Entwicklung von Lithografie-Systemen für 7-nm-Chips an, was damals aber schon unglaubwürdig klang. Verglichen mit ausländischen Herstellern sind die Forschungsbudgets in Russland klein.
(mma)