Neue Chipfabrik in Itzehoe geplant

Im schleswig-holsteinischen Itzehoe soll für rund 330 Millionen Mark eine neue Halbleiterfabrik entstehen, die bis zu 200 Mitarbeiter beschäftigen wird.

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Im schleswig-holsteinischen Itzehoe soll für rund 330 Millionen Mark eine neue Halbleiterfabrik entstehen, die bis zu 200 Mitarbeiter beschäftigen wird. Das US-Unternehmen Standard MEMS und Philips Semiconductors wollen dort in einem Joint-Venture ab dem Jahr 2002 in 0,35- und 0,25-µm-Technik auf 8-Zoll-Wafern produzieren.

Die Kapazität soll bei 300.000 Scheiben pro Jahr liegen, auf denen CMOS-Schaltkreise und MEMS, also mikro-mechatronische Systeme (Micro Electro Mechanical Systems), entstehen. Ein Beispiel für den Einsatz von MEMS sind nach Angaben von Philips die Druckköpfe von Tintenstrahldruckern; auch in der Optik finden diese Baugruppen Anwendung.

Standard MEMS arbeitet schon seit einiger Zeit mit dem Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISiT) in Itzehoe zusammen. Diese Forschungseinrichtung soll strategischer Partner des Joint-Ventures werden, die MBG Schleswig-Holstein, eine regionale Beteiligungsgesellschaft, beteiligt sich finanziell an dem Projekt. Mit dem Bau der Fabrik, deren Betrieb sich Standard MEMS und Philips Semiconductor teilen, soll es schon im November losgehen. (ciw)