Noch ein "dünnster" Transistor

Nach den Bell Labs und der Universität Berkeley melden Forscher von Motorola die erfolgreiche Herstellung des "dünnsten Transistors der Welt".

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Von
  • Andreas Stiller

Kurz nach den Bell Labs und der Universität Berkeley meldeten jetzt auch Forscher von Motorola die erfolgreiche Herstellung nicht des kleinsten, aber des "dünnsten funktionalen Transistors" der Welt. Entscheidend bei Motorolas Entwicklung ist die Ersetzung des bislang üblichen Isolators Siliziumdioxid durch Kristalle mit so genannter Perowskit-Struktur. Diese besitzen höhere Dieelekrizitätskonstanten als SIO2 und haben die nützliche Eigenschaft, elektronisch "dünner" zu sein als mechanisch. Außerdem verliert SIO2 unterhalb einer bestimmten Schichtdicke seine Isolationswirkung.

Perowskite bestehen aus oktaederförmigem Sauerstoff mit eingeschlossenen Metallatomen. Motorola hatte Erfolg mit Strontium-Titanat-Kristallen, die etwa zehnmal bessere Eigenschaften als SIO2 aufweisen sollen. Laut Motorola lassen sich damit etwa drei bis viermal dünnere Transistoren herstellen. Berkeley will mit der FinFET-Technologie (vertical double Gate SOI-MOSFET) allerdings bereits 10mal kleinere Transistoren fertigen können.

Obwohl Motorola jedoch schon funktionierende Prototypen fertig hat, wird es noch einige Zeit dauern, bis Chips mit Perowskit-Isolation auf den Markt kommen. Motorola selbst schätzt etwa fünf Jahre. (as)