Panasonic und Renesas auf dem Weg zur 45-nm-Chipfertigung
Gemeinsam wollen die Firmen SoCs (System-on-Chip) herstellen und sind nun dabei, das Verfahren erstmals komplett zu testen.
Panasonic (Matsushita Electric Industrial Co.) und Renesas Technology sind in die "Full Integration"–Phase ihrer 45-nm-Fertigung für SoCs (System-on-Chip) eingestiegen. Damit können erstmals Wafer den kompletten Fertigungsprozess durchlaufen. Bei der 45-nm-Fertigung, welches die Firmen erproben, kommen unter anderem Verfahren wie ArF-Immersions-Lithografie und die Strecktechnik strained silicon zum Einsatz.
Die bereits seit Oktober 2005 laufende Testphase soll voraussichtlich Mitte 2007 abgeschlossen werden. Das lässt etwas Luft bis zur für Anfang 2008 geplanten Serienproduktion. Die dann gefertigten 45-nm-SoCs sollen in mobilen und vernetzten Geräten verwendet werden. (Markus Stöber) / (bbe)
