Speicher-Produktion: SK Hynix stellt EUV-Fab fertig
Der weltweit zweitgrößte Speicherhersteller SK Hynix beginnt dieses Jahr die Produktion von 1a-SDRAM mit moderner extrem-ultravioletter Belichtungstechnik.
(Bild: SK Hynix)
SK Hynix hat die Produktionsstätte M16 in der südkoreanischen Provinz Gyeonggi-do fertiggestellt. Nach gut zwei Jahren Bauzeit erweitert sie den Icheon-Campus um eine Nutzfläche von rund 57.000 m² – das Äquivalent von acht Fußballfeldern, wie das Unternehmen anmerkt. Das Gebäude ist bis zu 105 m hoch, was einem 37-stöckigen Hochhaus entspricht.
Die M16-Produktionsstätte ist SK Hynix' bis dato größte sogenannte Fab. Der Speicherhersteller hat das Gebäude auf den Einsatz von Belichtungsmaschinen mit extrem-ultravioletter Wellenlänge (13,5 Nanometer) ausgelegt. Aktuelle EUV-Lithografie-Systeme passen in bestehende Produktionsstätten, kommende Generationen nehmen aufgrund einer Erhöhung der numerischen Apertur (High-NA EUV) von 0,33 auf 0,55 jedoch mehr Platz in Anspruch.
1a-SDRAM noch dieses Jahr
Ab dem zweiten Halbjahr 2021 will SK Hynix größtenteils SDRAM aus der 1a-Generation in der M16-Fab produzieren. Entsprechende Chips sind dank feinerer Fertigungstechnik bei Einsatz von EUV-Belichtung kleiner und arbeiten effizienter als bisherige 1z-Bausteine. Beide Varianten gehören der 10-nm-Klasse an.
Außer SK Hynix setzt auch Samsung bei der 1a-Generation auf EUV-Belichtungsmaschinen. Einzig Micron – der weltweit drittgrößte Speicherhersteller – verzichtet auf EUV-Technik bei 1a-Chips und setzt weiter auf klassische (DUV-)Immersionslithografie (193 nm Wellenlänge, ArF-Laser). Laut Micron sei EUV-Belichtung in der eigenen Produktion noch nicht wirtschaftlich sinnvoll – ab 2023 könnte sich das ändern.
Außer SDRAM produziert SK Hynix auch NAND-Flash für SSDs – offenbar ein Nebenprodukt in der Produktionsstätte M16. Andere Hersteller ohne eigene Speicherproduktion kaufen Chips von Unternehmen wie SK Hynix, Samsung und Micron, um (DDR4-)Module und SSDs damit zu entwerfen. Auch auf Grafikkarten kommt (GDDR6-)SDRAM zum Einsatz.
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