Ausrüstung für die Chipindustrie: ASML steigt bei Zeiss-Tochter SMT ein

Mit einer Milliarde Euro steigt das niederländische Unternehmen ASML bei Carl Zeiss SMT ein. Mit der Partnerschaft solle die Entwicklung von EUV-Lithographie vorangetrieben und langfristig abgesichert werden.

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Ausrüstung für die Chipindustrie: ASML steigt bei Zeiss-Tochter SMT ein

(Bild: Carl Zeiss)

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Der niederländische Ausrüster für die Chipindustrie ASML hat sich mit einer Milliarde Euro in ein Tochterunternehmen des Optik-Konzerns Carl Zeiss eingekauft. Wie beide Unternehmen am Donnerstag mitteilten, erwirbt ASML eine Minderheitsbeteiligung von 24,9 Prozent an Carl Zeiss SMT. Dieser Unternehmensteil entwickelt und produziert Geräte für die Herstellung von Mikrochips. Eine darüber hinausgehende Übertragung von Unternehmensanteilen sei nicht geplant. ASML will demnach aber noch rund 220 Millionen Euro in Forschung und Entwicklung sowie 540 Millionen Euro in Ausrüstung und die Prozesskette von Carl Zeiss SMT investieren.

Mit dieser Partnerschaft soll die Entwicklung einer zukünftigen Generation der Extreme Ultraviolett (EUV)-Lithographie-Systeme beschleunigt werden. Damit soll die Halbleiterindustrie ab 2020 wesentlich leistungsfähigere Mikrochips zu deutlich geringeren Kosten herstellen können. Beide Unternehmen versichern, mit der Kooperation ihre Führungsposition absichern zu wollen. Noch sei aber jede Menge zu tun, damit 2018 tatsächlich die ersten Mikrochips aus der Herstellung mit EUV-Scannern der jetzigen Generation bei den Halbleiterherstellern vom Band laufen können. (mho)