AMD demonstriert FinFETs mit 10 Nanometern Gate-Länge

Vertikal orientierte Transistoren mit mehreren Gates sollen bedeutend kleiner werden als die heute üblichen Bauformen. AMD hat ein Labormuster eines solchen Feldeffekttransistors (FET) mit nur 10 Nanometern Gatelänge hergestellt.

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Vertikal orientierte Transistoren mit mehreren Gates sollen bedeutend kleiner werden als die heute üblichen Bauformen. AMD hat ein Labormuster eines solchen Feldeffekttransistors (FET) mit nur 10 Nanometern Gate-Länge hergestellt.

Der 10-nm-Dualgate-FinFET ist das Ergebnis einer Kooperation von AMD mit der Universität Berkeley und der Semiconductor Research Corporation (SRC). Im vergangenen Jahr hatte AMD einen FinFET mit 15 nm Gate-Länge vogestellt, die Forscher aus Berkeley berichteten schon 1999 über eine Version mit 18 nm Gate-Länge. An FinFETs arbeitet auch IBM seit Jahren, bei Motorola setzt man statt auf FinFETs zur Strukturverkleinerung auf Kristalle mit Perowskit-Strukturen. Intel zeigte im letzten Jahr einen Transistor mit 15 nm Gate-Länge und einer "Transitfrequenz" von 1,2 THz.

Angeblich will auch Intel noch in dieser Woche auf dem IDF Informationen zu Multigate-Transistoren veröffentlichen. Weitere Details zu Multigate-Transistoren und FinFETs erwartet man von der Fachtagung IEDM 2002 im Dezember dieses Jahres. IBM will dann ein funktionsfähiges SRAM aus FinFETs vorstellen. Vertikal orientierte Transistoren kommen auch in DRAM-Chips mit "Trench"-Zellen zum Einsatz, die beispielsweise Infineon baut. (ciw)