Qimonda stoppt Chip-Produktion auf 300-mm-Wafern in den USA

Die Firma Qimonda stoppt mangels Geld die Verarbeitung von 300-mm-Wafern im Werk Richmond, meldet aber gleichzeitig die erfolgreiche Fertigung von 46-Nanometer-SDRAMs.

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Qimonda hat nach eigenen Angaben den weltweit kleinsten Speicherchip mit 2 Gigabit Kapazität vorgestellt: Das im 46-Nanometer-Prozess mit Buried-Wordline-Technik produzierte DDR3-SDRAM soll lediglich 55 Quadratmillimeter Siliziumfläche belegen. Damit ist es knapp kleiner als der vor etwas mehr als einem Jahr von Micron angekündigte 1-GBit-Chip aus der 68-Nanometer-Produktion.

Laut Qimonda lassen sich auf einem Wafer mit 300 Millimetern Durchmesser nun dreimal so viele Chips unterbringen wie mit der zurzeit hauptsächlich genutzten 75-nm-Technik für Trench-Zellen. Allerdings produziert Qimonda nach eigenen Angaben auch schon Buried-Wordline-(BWl-)SDRAMs in einem 65-nm-Prozess. Als weiteren Vorteil der 46-nm-Neulinge nennt Qimonda eine im Vergleich zu den 75-nm-Chips wesentlich geringere Leistungsaufnahme, die um bis zu 75 Prozent niedriger liegen soll. Die Serienfertigung der 46-nm-BWl-SDRAMs soll Mitte 2009 anlaufen – allerdings ausschließlich im Dresdner Werk der insolventen Firma. Weil das Geld fehlt, um auch die zweite eigene 300-mm-Fab in Richmond/Virginia umzustellen, wird dort die Produktion komplett gestoppt.

(Update:) Die Fertigung auf 200-mm-Wafern hat Qimonda im "White-Oak"-Werk bei Richmond bereits eingestellt, nachdem die 200-mm-Fertigungsanlagen über einen Sale-and-Lease-Back-Vertrag schon Ende 2007 verkauft worden waren, um frisches Geld zu beschaffen. Laut Qimonda sind von den Produktionsstopps in Virginia rund 1500 Mitarbeiter betroffen.

Auch im US-Bundesstaat Virginia sterben damit Hoffnungen auf dauerhaft sichere Arbeitsplätze in der High-Tech-Branche. Die Ansiedelung des zunächst von Motorola und Siemens ab 1995/96 gemeinsam aufgebauten Werks in Sandston war ebenfalls mit Fördermitteln wie Steuervergünstigungen und Erschließungsarbeiten durch den US-Staat Virginia gefördert worden. Ebenfalls in den 90er-Jahren war mit ähnlicher Unterstützung das gemeinsame IBM-Toshiba-Werk Dominion in Manassas entstanden, das mittlerweile Micron gehört. Auch Micron hat in den USA mehrere tausend Arbeitsplätze abgebaut. Ein weiteres Projekt in Virginia war schon Ende der 90er-Jahre in Folge der Asienkrise gescheitert: Trotz trickreicher Zuschuss-Gesetzgebung hat Motorola damals eine 3-Milliarden-Dollar-Fab, die eigentlich PowerPC-Prozessoren für Apple-Computer fertigen sollte, letztlich nicht gebaut. 1997 wurden zwar einige Erdarbeiten in West Creek durchgeführt, aber mittlerweile hat Motorola die Flächen wieder verkauft – sie sollen als Gewerbegebiet genutzt werden.

Laut Pressemeldung sucht Qimonda zurzeit auch noch Finanzierungspartner, um den Zeitplan für die Aufnahme der 46-nm-Großserienfertigung in Dresden einhalten zu können.

Qimonda hatte bereits Anfang 2008 angekündigt, sich aus dem von extremem Preiskampf geprägten Geschäft mit PC-Hauptspeicher zurückziehen zu wollen und in Zukunft eher DRAM-Spezialprodukte zu fertigen, die dank besonderer Vorzüge wie kleiner Bauform und niedriger Leistungsaufnahme höhere Margen erzielen. Dazu gehören beispielsweise Speichermodule für Mobilrechner, kompakte Blade-Server oder Mobile RAM für Handys und Smartphones; Qimonda produziert aber auch Rambus-XDR-Speicher.

Die Buried-Wordline-Speicherzellen belegen relativ zu der mit der jeweiligen Fertigungstechnik minimal realisierbaren Strukturgröße – beispielsweise 65 oder 46 Nanometer – weniger Siliziumfläche als Trench-Zellen. Während Letztere das Achtfache des Quadrats des kleinsten Chip-"Features" – kurz "F" genannt – benötigen, brauchen Zellen mit der aktuellen BWl-Generation das Sechsfache, also 6F2 statt 8F2. Zusammen mit Elpida will Qimonda, falls das Geld reicht, 2010 auch 4F2-Zellen fertigen können.

Qimonda hat in der vorletzten Woche Insolvenz angemeldet und erhebliche Verbindlichkeiten. Zuletzt hatte der Zulieferer Winbond gemeldet, noch auf umgerechnet 20,6 Millionen Euro an Zahlungen zu warten. Nach Angaben der Firma Inotera Memories, an der Qimonda früher Anteile hielt, sind dort unbezahlte Rechnungen in Höhe von 3,4 Milliarden Neuen Taiwan Dollar (NTD) aufgelaufen, was umgerechnet rund 73,64 Millionen Euro entspricht.

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(ciw)